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标签 > 光刻技术
随着半导体技术的发展,光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2~3个数量级(从毫米级到亚微米级),已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新技术;使用波长已从4000埃扩展到 0.1埃数量级范围。光刻技术成为一种精密的微细加工技术。
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实现3nm以下微缩的关键技术之一涉及在芯片背面提供功率。这种新颖的方法增强了信号完整性并减少了路由拥塞,但它也带来了一些新的挑战,目前还没有简单的解决方案。
计算光刻 (Computational Lithography)技术是指利用计算机辅助技术来增强光刻工艺中图形转移保真度的一种方法,它是分辦率增强技术(...
氢去钝化光刻(HDL)是电子束光刻(EBL)的一种形式,它通过非常简单的仪器实现原子分辨率,并使用能量非常低的电子。它使用量子物理学有效地聚焦低能电子和...
EUV光刻技术出现新的挑战:3nm节点的金属间距约为22nm
22 nm 节距quasar illumination的较小部分使得最低衍射级避免了遮挡可以安全使用,但填充的pupil不到 20%,这再次意味着额外的...
目前,我国硅抛光片行业需求量约6亿平方英寸,国内产量5.19亿平方英寸,部分产品还需要从国外进口满足国内市场需求,近几年我国集成电路行业平稳发展,给硅抛...
Mulith声称其基于激光的计量工具提供的分辨率优于扫描电子显微镜(SEM),同时不需要昂贵的发射源,静电透镜,磁物镜,复杂的热传导方法和真空系统。最重...
德克萨斯州奥斯汀 - 国际Sematech公司的研究经理表示,他们对将光刻技术扩展到生产的可能性更加乐观一组专家回顾了下一代157纳米曝光工具关键材料的...
光学光刻是通过广德照射用投影方法将掩模上的大规模集成电路器件的结构图形画在涂有光刻胶的硅片上,通过光的照射,光刻胶的成分发生化学反应,从而生成电路图。限...
除了阻抗,还有其他问题,即EUV光掩模基础设施。光掩模是给定IC设计的主模板。面膜开发之后,它被运到制造厂。将掩模放置在光刻工具中。该工具通过掩模投射光...
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