电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示
电子发烧友网>电子资料下载>机械电子>微电子机械系统(MEMS)及硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型

微电子机械系统(MEMS)及硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型

2017-11-07 | rar | 0.2 MB | 次下载 | 免费

资料介绍

  针对硅在 KOH 中的各向异性腐蚀提出了一个新的物理模型。 此模型从微观角度出发, 根据实际的腐蚀化学反应过程确定了若干微观状态, 提出了反映腐蚀特性的若干微观参数。 将腐蚀温度、浓度等对腐蚀速率的影响也反映了进去。 计算结果与实验结果进行了对比, 表明此模型在解释硅在 KOH 中各向异性腐蚀特性等方面具有一定的合理性。

  微电子机械系统(M EM S) 的发展令人瞩目, 它是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。 M EM S 的三维结构, 突破了集成电路平面结构的限制, 从而拓宽了M EM S 的实际应用领域。 为此, 在集成电路平面工艺的基础上, 需要加上特有的体加工工艺技术来实现M EM S的三维结构, 例如各向异性腐蚀技术[ 1 ]等。

微电子机械系统(MEMS)及硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型

下载该资料的人也在下载 下载该资料的人还在阅读
更多 >

评论

查看更多

下载排行

本周

  1. 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
  2. 0.00 MB  |  1490次下载  |  免费
  3. 2单片机典型实例介绍
  4. 18.19 MB  |  93次下载  |  1 积分
  5. 3S7-200PLC编程实例详细资料
  6. 1.17 MB  |  27次下载  |  1 积分
  7. 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
  8. 4.28 MB  |  18次下载  |  4 积分
  9. 5开关电源原理及各功能电路详解
  10. 0.38 MB  |  10次下载  |  免费
  11. 6基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
  12. 0.11 MB  |  4次下载  |  免费
  13. 7基于单片机和 SG3525的程控开关电源设计
  14. 0.23 MB  |  3次下载  |  免费
  15. 8基于单片机的红外风扇遥控
  16. 0.23 MB  |  3次下载  |  免费

本月

  1. 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
  2. 0.00 MB  |  234313次下载  |  免费
  3. 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
  4. 0.00 MB  |  66304次下载  |  免费
  5. 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
  6. 0.00 MB  |  51209次下载  |  免费
  7. 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
  8. 0.00 MB  |  51043次下载  |  免费
  9. 5555集成电路应用800例(新编版)
  10. 0.00 MB  |  33562次下载  |  免费
  11. 6接口电路图大全
  12. 未知  |  30320次下载  |  免费
  13. 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
  14. 0.00 MB  |  28588次下载  |  免费
  15. 8开关电源设计实例指南
  16. 未知  |  21539次下载  |  免费

总榜

  1. 1matlab软件下载入口
  2. 未知  |  935053次下载  |  免费
  3. 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
  4. 78.1 MB  |  537791次下载  |  免费
  5. 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
  6. 未知  |  420026次下载  |  免费
  7. 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
  8. 0.00 MB  |  234313次下载  |  免费
  9. 5Altium DXP2002下载入口
  10. 未知  |  233046次下载  |  免费
  11. 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
  12. 340992  |  191183次下载  |  免费
  13. 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
  14. 158M  |  183277次下载  |  免费
  15. 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
  16. 未知  |  138039次下载  |  免费