分析系统优化小电流测量（下）

　　VII 漏流和保护II

　　保护亦可用于减小电缆连接中的漏流。图12所示为驱动保护防止电缆的漏泄电阻影响小电流测量的原理。在无保护的配置中，同轴电缆的漏阻与DUT并联（RDUT），产生不希望的漏流（IL）。该漏流将影响极小电流的测量。

　　在保护电路中，三轴电缆的内芯屏蔽被连接至SMU的保护端子。现在，该屏蔽由一个单位增益低阻放大器（保护）驱动。Force HI端子和保护端子之间的电势差接近0V，所以漏流（IL）可忽略不计。

　　

　　图12. 利用保护减小电缆连接中的漏流

　　为了查看测量极高电阻时三轴电缆和同轴电缆的结果，图13中绘出了采用10V阶跃函数测量100GΩ电阻的测量电流和时间的关系图。三轴电缆通过使用保护，以两种方式改善了测量：1）它减小了有效电缆电容，从而降低了测量的RC时间常数或建立时间；2）防止电缆中的漏流对测量准确度造成不利影响。

　　

　　图13. 使用同轴电缆和三轴电缆测量高阻的结果比较

　　从图13可知，利用带有保护的三轴电缆进行测量，漏流较小（低几个pA），建立时间更短（大约快10倍）。如果SMU必须连接至采用BNC连接器的测试夹具，请在S

　　MU和测试夹具之间使用吉时利三轴电缆，然后再将BNC连接至三轴适配器（去掉了保护），从而将电缆连接至测试夹具。