PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室落户苏州

近日，由苏州纳米科技发展有限公司与日本爱发科（ULVAC）共建的PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室落户苏州纳米城，双方将共同推动PZT压电薄膜材料在MEMS器件制造领域的应用。日本爱发科株式会社代表取缔役执行役员社长岩下节生，苏州工业园区党工委委员、管委会副主任孙燕燕等出席签约仪式。

PZT压电薄膜材料可减小MEMS芯片面积、简化生产工艺、提高制造良率、降低生产成本，日本爱发科是该材料生产设备的全球引领者。建设“PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室”，将有利于壮大苏州工业园区MEMS产业实力，也有利于加快中国MEMS企业创新步伐。

岩下节生在签约仪式上表示，爱发科与苏州工业园区之间有着深厚的互信和友谊，也得到了苏州工业园区的大力支持，十年来已有三个重大项目落户于此。爱发科非常感谢苏州工业园区一直以来的帮助和支持。我们对此次共建联合实验室充满信心。

纳米技术应用产业是苏州工业园区的区域战略性产业，截至2018年底，苏州工业园区集聚590多家纳米企业，产值突破660亿元，也被誉为全球纳米创新资源最集聚的八大区域之一。MEMS产业是“中国芯”有望取得突破的关键领域之一，是纳米技术应用产业的重要细分领域，也是苏州工业园区推进产业高端化、加快发展动能转换的重要领域。

孙燕燕致辞时表示，开放创造机遇，合作带来共赢，苏州工业园区近年来，坚持把科技创新作为区域发展的核心战略，坚持在全球范围配置创新资源，构建开放型创新体系，优化完善创新生态圈，积极构筑纳米产业先发集群优势。日本爱发科、岩下节生社长都是苏州工业园区的老朋友，希望双方以此次签约为契机，不断深化开放创新的水平，使PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室成为中国MEMS产业的新地标，进一步促进中日两国科技交流与合作。同时，我们将积极构建国际一流营商环境，以更有温度的服务、更大力度的支持，助力MEMS产业实现跨越发展。

据了解，MEMS中试平台是中国首条市场化、全开放、工业级的6英寸微纳机电制造中试线，是国内工艺能力最全、流片产品最多的公共服务平台。在该平台的带动下，苏州工业园区已成为中国MEMS产业第一园，集聚了一批MEMS创新企业，五家企业位列全国MEMS十强。