中芯国际14纳米生产工艺将于今年实现量产 但与国际水平仍存在差距

1月27日，上海市第十五届人民代表大会第二次会议正式开幕，上海市市长应勇作政府工作报告，报告中回顾了2018年上海市的发展状况，并对2019年的重点工作及任务作出规划。上海市作为全国集成电路产业重要集聚区，其2019年政府工作报告中多处提及集成电路。

应勇在回顾2018年工作时表示，“五个中心”建设取得进展，其中包括成立国家集成电路制造业创新中心等一批科研机构。此外“四大品牌”建设全面启动，包括深制定实施集成电路、人工智能、生物医药等产业政策，积塔半导体等5个投资百亿元以上和15个投资十亿元以上的重大产业项目开工建设，工业投资增长17.7%、增幅创近十年新高，新能源汽车、高端医疗装备、集成电路、生物医药等新兴行业产值增长10%左右。

值得一提的是，应勇在宣布上海市2019年主要任务中提出要推动经济高质量发展，其中包括巩固提升实体经济能级：加快落实集成电路、人工智能、生物医药等产业政策，深入实施智能网联汽车等一批产业创新工程，推动中芯国际、和辉二期等重大产业项目加快量产，实现集成电路14纳米生产工艺量产，推进昊海生物、ABB机器人、盛美半导体等项目开工建设。

上述这段话体现了上海市对集成电路产业发展的重视，更值得注意的是还透露了备受业界关注的中芯国际14纳米生产工艺之发展进程——将于今年实现量产。

众所周知，中芯国际近两年来在攻坚14纳米制程，其于2017年10月延揽三星及台积电前高管梁孟松担任联席首席执行官，助力14纳米制程以下先进制程的研发量产。据悉，梁孟松上任后加强了研发队伍建设、强化责任制，调整更新14纳米FinFET规划等，加快了研发步伐。

为了迎接14纳米制程的量产，2018年1月底中芯国际旗下为配合14纳米及以下先进制程建设的12英寸晶圆厂中芯南方拟增资扩股，中芯国际联同国家集成电路基金和上海集成电路基金共投资102.4亿美元，以加快14纳米及以下先进制程研发和量产计划，预计在2019年上半年投产。

尽管业界密切关注着中芯国际14纳米制程的进展，但中芯国际公开对外透露的消息并不多。在2017年第四季度报中，中芯国际表示14 纳米研发进程进展顺利，预计将在2019年上半年量产14纳米FinFET 工艺技术，比原先预期提前了半年。

2018年6月中旬，业界传闻中芯国际14纳米FinFET制程已接近研发完成阶段，其试产的良率已达95%，但中芯国际并未作出回应。2018年8月，中芯国际在发布第二季度业界报告是表示，“我们欣喜地告诉大家，在14纳米FinFET技术开发上获得重大进展。第一代FinFET技术研发已进入客户导入阶段。”这意味着离量产并不遥远了。

种种迹象表明，中芯国际14纳米制程将于今年实现量产，如今上海市政府工作报告中的短短一句话更是宛如给出“定心丸”。

不过，在为即将迎来14纳米制程高兴的同时，业界仍需清醒地认识到在集成电路制造领域我们与国际水平存在的差距。

如台积电2018年已量产7纳米制程，其EUV加强版7纳米制程亦将于今年量产，目前还在马不停蹄地研发5纳米、3纳米；2018年10月，三星亦宣布其7nm LPP（Low Power Plus）制程已进入量产阶段，3纳米目标于2020年量产；英特尔也表示2019年将量产10纳米制程。..。..

可见，即便是代表着中国大陆最先进水平的中芯国际，与国际水平仍存着明显代差，有待进一步努力追赶。有消息称，中芯国际量产14纳米制程后，有可能跳过10nm直接研发7nm芯片制造工艺。