允升吉电铸FMM在高世代AMOLED面板量产线上进行了蒸镀测试

近日，允升吉公司制作的电铸G 5.5 Q divided mask在高世代AMOLED面板量产线上进行了蒸镀测试，取得了重大突破。据业内信息确认，这是电铸技术制造的FMM（Fine Metal Mask）首次应用于高世代AMOLED量产线进行实际蒸镀，试验了各种预设工艺参数和精度，达到了关键参数可控的目标；解决了位置精度（PPA）、开口精度（CD）、焊接性能、热膨胀、平整度等一系列技术问题。

图1.允升吉FMM

目前AMOLED面板量产的主流方式是真空蒸镀，而真空蒸镀必须用到FMM。作为关键物料的FMM，主要有蚀刻、电铸、多重材料复合三种制作工艺。以前FMM的制作广泛采用的是蚀刻工艺，但随着OLED产业向高世代高分辨率方向发展，现有的蚀刻工艺一方面面临原材料（Invar alloy）在技术上及采购上的限制，另一方面蚀刻工艺在产品精密度上越来越不能满足要求，而电铸工艺在制作高世代FMM的优势逐渐体现出来。允升吉公司作为国内首家从事OLED蒸镀用金属MASK研发的企业，在电铸制作FMM方面拥有10多年的技术积累，自主承担了两项国家863计划，目前在OLED蒸镀用FMM方面申请专利308件。近两年在OLED蒸镀用FMM产品研制如下：

1.2017年6月，300ppiFMM样品制作完成并通过客户测试；

2.2017年8月，300～800ppiFMM产品开始小批量制作，其中814ppi的屏幕于2018年1月成功点亮发布，刷新了当时国内AMOLED屏幕最高像素密度纪录；

3.2017年12月，6.2"全面屏FMM产品制作完成；

4.2018年9月，1000ppiFMM产品制作完成。

图2.应用允升吉FFM研制的814ppi AMOLED显示屏

当前，维信诺、京东方、华星光电、天马等国内众多OLED面板厂在各地纷纷布局G 5.5以上高世代AMOLED面板量产线，而国家公布的《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录（2016版）》“新型显示器件”中明确规定“5.5代及以上精细金属掩膜板”为重点发展方向。允升吉将在用户的积极配合下，继续进行固化数据、稳定工艺、迭代测试等工作。争取早日将电铸技术的Divided FMM用于实际量产，实现我国AMOLED行业关键配套材料的国产化跨越式发展。