汉威科技新一代半导体工厂气体检测仪的三大核心升级

导读

在追求纳米级精度的芯片制造中，那些看不见、测不准的剧毒气体，正构成隐秘的安全盲区，汉威科技集团以新一代半导体工厂检测仪，精准锁定风险，将气体安全从“可靠”推向“极致”。

半导体工厂精密制造背后的“隐形威胁”

半导体制造离不开数十种特殊工艺气体，它们是芯片诞生的命脉，却也暗藏杀机。

其中，NF₃、C₅F₈、C₄F₆等超过三成的剧毒物质，化学性质极其稳定，常规传感器几乎无法识别——既测不准，也报不出。

这意味着，设备可能长期运行在“假安全”状态，员工也在无感知中暴露于真实风险。

这片监测“真空区”，是整个行业必须直面的致命短板。

汉威科技新一代半导体工厂气体检测仪

三大核心升级,安全无盲区

双技术路线，专克“顽固气体”

针对传统手段难以捕捉的稳定性气体，汉威科技集团提供开创性的双技术路线。

红外传感器模组检测方案凭借高精度与强抗干扰性，实现直接、稳定监测;

而国内首创的热裂解单元方案，则通过独特的专利技术路径，在高湿、复杂工况下提供更经济、可靠的选择。

两种方案灵活可选，确保任何“沉默”的威胁都无所遁形。

彩色智慧屏，操作零门槛

全新2.8英寸彩色屏幕，信息一目了然;

操作界面优化，一键直达常用功能。从显示到交互，让监测不再复杂。

模块化卡扣，维护不费力

卡扣式前盖，徒手即可开合;

传感器模组与泵体模块化设计，更换维护简单高效。大幅降低运维门槛。

支持50余种半导体工艺气体检测，涵盖NF₃、C₅F₈、SiH₄、Cl₂等典型“顽固”气体，一机应对多场景需求。

汉威科技集团的新一代半导体工厂气体检测仪，不仅是一台设备，更是一套主动、精准、可感知的安全生态系统。汉威科技集团致力于让每一次呼吸都被守护，让顶尖科技在安全的环境中，稳健前行。