华工激光高质量TGV钻孔技术为玻璃基板量产提速

算力瓶颈：玻璃基板成为先进封装“芯”路

随着AI芯片、CPO光模块、射频MEMS等领域算力需求猛增，对高频高速互连的要求持续升级，传统有机基板在信号损耗、平整度、热膨胀匹配等方面日益逼近物理极限，玻璃基板凭借其优异的高频特性、尺寸稳定性和高互连密度潜力，已成为产业共识性的下一代封装基材。

当前，全球半导体先进封装正加速向玻璃基板演进，英特尔、三星、台积电等头部企业纷纷加码玻璃基板技术布局，将其视为后摩尔时代提升芯片性能的关键路径。

玻璃基板通孔技术

玻璃通孔（TGV）技术是玻璃基板走向产业化的核心环节，该技术要求在超薄玻璃上实现批量的垂直互连孔道，以便后续工序完成信号连通。华工激光依托在PCB钻孔、脆性材料精密加工领域十余年的技术积淀（国家级制造业单项冠军产品），率先实现5μm孔径、1:100径深比、99.9%通孔率的高质量TGV钻孔，并正从“能打孔”向“快速量产”稳步迈进。

效率革命：单秒最大通孔量≈8000个

TGV量产的最大瓶颈，是在保证微米级精度、高深宽比、零缺陷加工质量的前提下，大幅提升单位时间的通孔数量。

华工激光自研“光束快速偏转与同步定位技术”，通过优化偏转光学部件的驱动控制算法与同步触发时序，实现光束在加工台面上小范围偏转时的精准、快速定位，在保持孔道高品质、高一致性的同时，显著提升通孔效率。

TGV玻璃基板钻孔智能装备

华工激光TGV玻璃基板钻孔智能装备较行业平均水平实现5–8倍的效率跃升，加工效率提升至5000–8000孔/秒，单秒最大通孔量接近八千个，为TGV玻璃基板的规模化生产扫除了关键效率障碍。

量产落地：为规模化生产筑牢装备支撑

随着玻璃基板在半导体先进封装领域从小批量验证走向规模化应用，TGV钻孔的效率与良率已成为决定产业落地的关键门槛。

目前，华工激光TGV玻璃通孔激光加工智能装备已完成整机定型，核心部件（激光器、振镜、控制系统）实现100%国产化，并已成功完成初步中试验证。该装备可稳定满足AI芯片2.5D/3D封装、CPO光引擎玻璃基板、射频/MEMS高端基板等先进封装场景的产能需求，真正将TGV核心技术转化为可交付、可复制的产业化能力。

华工激光将持续推动TGV核心装备的技术迭代与产业化进程，致力于为行业提供更高精度、更高效率、更高良率的国产化量产解决方案，助力先进封装产业链加速迈入玻璃基板时代。