海瑞思科技HM-130系列高性能残余气体分析仪介绍

在半导体制造的精密链条里，真空制程是决定芯片良率的核心环节。国产高端RGA——HM-130高性能残余气体分析仪，专为半导体及真空工艺量身打造，它以自研核心技术，为真空制程装上“数字慧眼”。

1深度解码：八大硬核实力，护航智造

超高灵敏：捕捉“看不见”的隐患

2E-15Torr最小可检分压，精准捕捉超低浓度气体杂质，微量污染无所遁形，从源头消除芯片缺陷风险。

瞬时响应：跟上极速制程节奏

2ms/点高速扫描，实时捕捉制程瞬态变化，同步先进制程节拍，让异常气体波动在毫秒间被发现，避免批量次品产生。

宽幅探测：一机搞定多场景需求

基于四极杆质谱技术，覆盖1–300amu全量程，兼容多场景、多气体的定性定量分析，大幅降低检测成本。

超高信噪：精准识别微弱信号

信号纯净稳定，显著提升微弱信号识别能力，让每一次检测数据都精准可靠，降低因误判导致的工艺调整失误，减少不必要的停机排查。

提质增良：从源头提升芯片良率

深度监控真空工艺环境，快速定位异常气体来源，助力工程师精准调整工艺参数，提升产品一致性与良率，直接转化为企业利润。

国产替代：供应链安全的坚强后盾

自研核心技术打破进口依赖，本土团队极速响应售后需求，不仅保障供应链安全可控，还能大幅降低设备采购与维护成本，让企业不再受限于海外技术封锁。

稳定可靠：严苛工况始终如一

面向半导体与真空镀膜严苛环境设计，长期运行性能稳定，确保量产工艺高度一致，为大规模生产保驾护航。

智控集成：无缝对接智慧工厂

支持多种通信协议，无缝接入自动化产线，助力数字化智能工厂建设，实现数据实时传输与远程监控。

2多场景覆盖：不止于半导体

从半导体制造的工艺腔室监测，到新能源行业的泄漏检测；从真空镀膜的气体成分分析，到航空航天的太空环境模拟；从粒子加速器的超高真空监测，到科研实验的材料化学分析，HM-130系列RGA都能精准胜任，成为各领域真空制程的可靠伙伴。

3直击痛点：精准捕捉微量气体杂质

在真空制程中，看不见的残余气体像隐形暗礁，时刻威胁着生产安全、侵蚀利润口碑：

传统真空计只能监测真空度是否达标，无法区分腔内有哪些气体成分、各成分占比多少，以及真空环境干不干净；

超低浓度的杂质气体可能在晶圆表面形成缺陷，让整片芯片报废，却因检测灵敏度不足无法提前预警；

高速制程中瞬态的气体波动，往往在设备报警前就已造成批量次品，传统分析仪的响应速度根本追不上工艺节奏；

HM-130高性能残余气体分析仪，可精准揪出真空腔室内的“隐形杀手”，以极致探测力护航制程安全，捍卫企业利润与市场竞争力。

4开启真空制程智控新时代

HM-130系列，以国产之芯，铸良率之盾。这既是海瑞思对自主可控的践行，也是对智能高效未来的承诺。海瑞思将继续以核心技术为引擎，为全球真空制程领域提供更优质的解决方案，与您一起探索智能制造的无限可能。

海瑞思RGA系列产品已通过多家半导体大厂实际验证，如需了解产品详情或预约演示、申请产品验证，欢迎私信或留言咨询！