半导体器件高精度电性能参数测试方案—艾诺高精度脉冲源表一体机ANPMU

目前，我国半导体产业已步入规模化发展阶段，据权威统计数据显示，2020年到2025年，中国半导体产业规模从8848亿增长至1.68万亿，预计2026年可突破至1.9万亿。在规模增长的同时，结构也随之优化，向设计和制造等高附加值环节升级，因而半导体研发、生产工艺中的精密测试设备需求也随之呈现大幅增长态势。

随着半导体产业规模的持续扩大，国家对各类半导体器件的电性能参数测试项目，做出了明确要求，推出了相应标准规范。

中国半导体产业的持续发展推动了高精度电性能参数的测试需求。源表SMU作为关键测试设备，可同时输出和测量电压电流，并进行电阻和功率的测量。

现阶段半导体性能参数测试，对以下方面提出了要求：

艾诺仪器凭借在测量领域持续的技术创新与研发积淀，面向半导体行业高精度测试需求，全新推出脉冲源表一体机ANPMU系列，该产品集成脉冲发生与精密测量功能，以高集成度设计满足先进制程的测试挑战。采用开关电源与线性功放技术组合，可四象限运行，输出噪声低、精度高、响应快，满足多数场景的测试需求。

产品具有高功率瞬时脉冲能力，采样可选择积分AD测量和数字AD测量，分别满足高精度和高速测量需求；具有丰富的波形编辑功能，支持扫描、脉冲、流程图、脚本编辑功能；五寸彩色屏幕，支持触摸、滑动、缩放，可以显示测试曲线。

艾诺公司新推出的高精度脉冲源表一体机ANPMU系列，是专为半导体行业量身打造的高精度、高分辨力、多功能源测设备。凭借卓越的技术性能，成为半导体研发、验证与量产环节的核心测试工具。该设备创新采用开关电源与线性功放技术组合，可实现四象限运行，既能够输出稳定能量，也可吸收负载反馈能量，输出噪声极低、测试精度出众且响应速度快捷，高效适配半导体器件对测试稳定性和时效性的严苛要求。ANPMU系列产品以突破性技术方案高效解决行业测试瓶颈，凭借过硬质量，赢得国内外厂商的高度认可，成为行业内的优质之选。