奥松电子新一代气体质量流量控制器达到国际先进水平

2025年9月28日，广州奥松电子股份有限公司的“新一代气体质量流量控制器的研发及产业化”顺利通过科技成果评价。本次评价会由广州生产力促进中心有限公司组织召开，邀请了来自华南理工大学、暨南大学、广东工业大学、华南师范大学、广东省科学院电子电器研究所、工业和信息化部电子第五研究所、中科院广州电子技术有限公司等单位的7位专家组成评价专家组。

评价专家组听取了项目汇报、审阅了相关材料，经质询与讨论，一致认定该项目成果具有创新性，整体技术达到国际先进水平。2025年11月3日，该项目入选广州市2025年第十三期科技成果登记公示，现同步进行完成单位公示，公示内容如下：

本项目所研发的新一代气体质量流量控制器（MFC），适用于多种常规气体，在测量结果的准确度与可靠性方面实现显著提升。其重复精度高达±0.2%F.S.；泄漏率低至1×10⁻¹⁰ Pa·m³/sec，气密性能优异，有效保障生产安全。

AS200系列产品基于先进的MEMS技术研发，在传感器驱动、零点漂移控制及阀控等关键环节均采用了自主核心技术，确保了产品的高性能、高品质与高可靠性。产品具备稳定性好、精度高、泄漏率低、耐压高等优点，广泛应用于半导体制造、燃料电池、航空航天、环境监测、石油化工、光伏镀膜、生物制药、医疗设备等重点领域。通过实现国产化替代，项目成功打破国外技术垄断，有效缓解半导体装备领域中的“卡脖子”问题，契合国家“中国制造2025”与“双碳”战略需求。凭借高精度、快速响应和长期稳定性等核心技术优势，该产品在多个高端制造领域展现出广阔的推广应用前景。

此次科技成果的顺利评价与公示，不仅是对奥松电子技术研发能力的高度认可，更是对我国在高端传感器领域实现科技自立自强的重要印证。未来，奥松电子将持续弘扬“创新、务实、高效、共赢”的企业精神，进一步增强自主创新能力，致力于为全球客户提供更先进、更可靠的MEMS传感器产品与解决方案，为推动我国半导体产业链供应链安全与高质量发展注入强劲动能。