浅析MEMS传感器在汽车上的应用

目前，压力传感器、加速计、陀螺仪与流量传感器四类器件合计占汽车MEMS系统的99%。其五年增长率均在3%~12%。MEMS压力传感器是汽车中应用最多的传感器，汽车用MEMS压力传感器的价格大概在5~7美元。在汽车领域，MEMS压力传感器营业收入2013年预计达到12.6亿美元，占当年总体产业营业收入的74%。至少18个汽车应用领域将促进压力传感器的增长，包括：轮胎压力，电子稳定控制系统中的刹车传感器，侧面气囊，与日益严格的排放标准相关的引擎控制，大气压力与废气再循环压力。

具体应用体现：

1)MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价，特别适宜在汽车电控系统中应用；

2)安全气囊中的汽车安全气囊感应器；

3)MEMS汽车微加速度计正替代以往的机电式加速度传感器；

4)MEMS陀螺仪在高端汽车中的应用包括：悬架控制、翻滚；

5)汽车MEMS压力传感器和轮胎气压自动监测系统，MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎，在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片，自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据，并用特定的代码发送出来；

6)发动机管理系统中的MEMS应用；

7)微机械陀螺是一种振动式角速率传感器，在汽车领域的应用开发倍受关注，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统；

8)汽车电控燃油喷射系统EFI要使用多重压力MAP传感器，监测发动机进气歧绝对压力，提高其动力性能，降低油耗，减少废气排放；

9)微型硅压阻式MEMS压力传感器可用于发动机废气循环系统，替代陶瓷电容式压力传感器。