海瑞思科技亮相2025国际真空展览会

9月24日，为期三天的2025第十八届国际真空展览会在上海世博展览馆盛大开幕。全球领先的一站式密封检测解决方案服务商海瑞思盛装亮相H4号馆A54-55展位，重点展出了氦质谱、RGA等高精尖设备，为真空技术在半导体、光伏、航天等领域的应用提供了创新解决方案，成为展会现场备受瞩目的焦点。

核心产品矩阵，引领行业技术革新

本次参展，海瑞思以“突破技术边界，引领精度革新”为主题，集中展示核心产品矩阵，覆盖从微漏检测到气体分析的全场景需求：

HM-100 残余气体分析仪↑

高分辨率：<1amu

检测能力强：最小可检分压3*10-14Torr

宽质量数范围：1-100amu,可识别H2、He、H2O、N2、O2、CO2等关键气体

HM-200在线质谱分析仪↑

采用RGA技术，自带触摸显示屏，操控精准。以其高分辨率和高精度著称，能够全面分析真空系统中的残余气体成分，助力提升工艺质量与产品良率。

HM-400氦质谱分析仪↑

以高精度著称，最小可检漏率5*10-13Pa·m3/s; 正压负压皆可检，全面覆盖需求; 推车式结构轻便高效，适用各类生产环境; 模块化紧凑设计，易于系统集成，适用于各种自动化装配线。

HV-100 VOCs检测仪↑

传感器精度≤2%F.S，最大分辨率1ppb，秒级响应；支持多种测试气体和应用场景；小巧便捷，轻松操作；自动储存，支持数据溯源。

专业观众云集，现场反响热烈

开展首日，海瑞思展台便吸引了专家院士、技术人才及大量专业观众驻足咨询。来自海内外多家知名企业的技术专家对海瑞思的产品表现出浓厚兴趣，双方就技术细节和应用场景进行了深入交流。

“海瑞思仪器检测精度和稳定性已经达到了国际领先水平，性能卓越，是国产替代的理想之选。”某半导体制造企业的工程师现场表示。”

助力高端智造，提供定制化解决方案

展会期间，专业团队全天候驻守展位，针对“微漏难定位”“良率波动”“检测效率低”等行业痛点，提供一对一案例剖析与定制化方案设计，更有设备实操演示与技术答疑环节。

资深工程师现场介绍，海瑞思的氦质谱、RGA等高端检测设备能提供全方位的真空环境监测与分析解决方案。针对半导体行业特殊需求开发的定制化解决方案，能够无缝集成到现有的半导体制造设备中，实现真空环境的实时监控和智能管理，为芯片制造、封装测试等环节提供可靠保障。

展望未来，共话真空技术新机遇

随着半导体技术向更小制程、更高集成度发展，真空技术的重要性将日益凸显。海瑞思将继续加大研发投入，推动技术创新，为客户提供更先进、更可靠的密封检测解决方案。

本次展会于9月24-26日举行，为期三天。诚邀各位行业同仁莅临海瑞思展台（展位号：H4馆 A54-55），共同交流并探索真空技术的新机遇。