MOSFET工艺参数揭秘：合科泰的技术突围之道

MOSFET的参数性能是选型的关键，而决定其性能的是关键工艺参数调控。作为国家级高新技术企业，合科泰深入平面与沟槽等工艺的协同，致力于在氧化层厚度、沟道长度和掺杂浓度等核心参数上突破。如今，合科泰的MOS管被广泛地应用在汽车电子、消费电子当中。

氧化层厚度

氧化层厚度直接影响MOS管的阈值电压。氧化层越薄，阈值电压越低，呈正相关；而随之而来的，是器件的导通电阻越小，开关速度越快。同时，也会带来栅极漏电流增大、可靠性降低等一些问题。在平面工艺中，合科泰通过化学气相沉积技术，把氧化层厚度控制在12-15nm（如HKTD4N65），确保高耐压下的长期稳定性；采用超薄氧化层设计的沟槽工艺大幅降低了导通电阻，以此满足了高频开关电源的严苛能效要求。

沟道长度

沟道长度是决定开关速度的关键参数。沟道长度过小的短沟道效应，会导致器件的漏电多、击穿电压低，同时还会导致制造难度及成本增加。因此需要在性能和成本之间控制权衡。合科泰引入ASM全自动光刻设备，结合SGT工艺和深沟槽刻蚀技术，在先进光刻技术和工艺的加持下，可以尽可能地缩小短沟道效应影响。

掺杂浓度

掺杂浓度调控可以改变载流子的浓度和迁移率，进而精确地调整导通电阻、击穿电压等性能参数，这是MOS管性能定制化的核心原理。超结工艺通过多层外延与深槽填充技术，实现较传统平面MOS管能效提升50%。如果在高压MOS管中，提高漏极区域的掺杂浓度，就可以增加击穿电压；要是在低导通电阻的MOS管中，提高沟道区域的掺杂浓度，就可以降低导通电阻。

仿真技术

在实际制作MOS管之前，使用仿真技术可以对进行性能的模拟和预测。仿真技术模拟的过程可以缩短研发的周期，还可以降低成本和发现潜在的问题。除了仿真技术外，合科泰等厂商还会利用X-RAY检测机和超声波扫描机获取精准物理参数。

结语

MOS管工艺参数的深入了解，促使合科泰生产出可定制、高可靠的MOS关产品。合科泰搭建全流程质量控制，获取的ISO9001、ISO14001和IATF16949质量体系认证，帮助合科泰MOSFET产品形成多种类、多层次、多种应用领域的完整布局，MOSFET涵盖从低压到高压、从消费电子到工业级应用，提供兼具可靠性与成本优势的解决方案。

审核编辑 黄宇