制备出国际一流的SOI晶圆片 王曦发布豪杰壮语

在许多人眼中，中科院院士、中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦既是一位具有全球视野的战略科学家，也是一位开拓创新而又务实的企业家。他带领团队制备出了国际最先进水平的SOI晶圆片，解决了我国航天电子器件急需SOI产品的“有无”问题，孵化出我国唯一的SOI产业化基地。

他在上海牵头推进了一批半导体重大项目——12英寸集成电路硅片项目有望填补我国大尺寸硅片产业空白。3月23日，王曦荣获上海市科技功臣奖。

从下围棋中得到启发

空间辐射会对卫星造成影响，王曦团队制备出国际一流的SOI晶圆片，解决了这一问题。SOI技术被称为“21世纪的硅集成电路技术”，王曦打了个比方：“这就像是三明治，在两层硅的中间，包裹着一层二氧化硅。”最上面的硅既要薄，还要均匀，比如12英寸硅片的均匀度，相当于从巴黎到上海的一次飞行，其振动幅度不能超过1.5厘米。2001年7月，王曦提出把这一技术推向市场，建成了我国第一条SOI生产线。这引起了美国硅谷《半导体商业新闻》的注意，他们惊呼：中国出现了一个现代化的SOI工厂。

王曦喜欢下围棋，因为只要善于谋篇布局，做的“势”就会越来越大。在推进上海半导体产业发展这盘“棋”时，王曦一直在应势布局。目前全球仅五家企业有能力量产12英寸大硅片，我国市场100%依赖进口。缺少这一材料，我国集成电路产业就还只是停留在中低端水平。2013年6月，王曦和中芯国际创始人张汝京共同建言，在上海启动12英寸大硅片的研发。应运而生的上海新升科技有限公司，去年实现大硅片量产，销售近10万片。

跨越科技成果转化“死亡之谷”

曾经在硅谷创办了两家公司的杨潇在创建上海微技术工业研究院时，为是否要企业化运作感到纠结，当时最大的困难就是经费问题，而最简单的办法是成立事业单位。王曦却下定决心要探索企业化的新路径，来跨越科技成果与产业界之间的“死亡之谷”。如今这一共性化技术平台，已实现85%的收入来自产业化。

上海硅产业投资有限公司执行副总裁李炜与王曦共事20年，对其运筹帷幄的能力感佩不已。2001年王曦带领6个博士创立新傲公司，当时的家底是1300万，现在的市值是13亿，增加了100倍；2016年，占全球高端硅材料市场70%份额的法国公司Soitec，由于副业经营不善濒临破产，王曦看中其硅材料的生产能力，由上海硅产业投资有限公司对其参股。当时的股价成本是9.2欧元，现在最高时涨到了70欧元，投资回报率达600%。

让科学家心无旁骛做研究

去年9月26日，张江实验室挂牌成立，王曦担任主任。“我一直有个梦想，让科学家心无旁骛做研究。接下来，张江实验室会有许多体制机制创新，包括科研经费的使用。”王曦比过去更忙碌了，同事们形容他的工作节奏是“5+2”“白加黑”，凌晨两三点收到他发来的邮件再正常不过。

“中国的蓬勃发展成就了上海微系统所走过的传奇之路。”王曦说，当年为了把SOI晶圆片卖出去，他们想和法国公司Soitec谈合作，结果对方不予理睬，只能在对方公司门口留个合影。如今，王曦成为了这家公司的董事。过往已经归零，明日征途漫漫。“我以前是无知无畏，现在虽然有困难，但看到了方向，也就更加有激情。”