高通吞吐量超高精度加工

在批量生产中实现超高精度，Coherent HyperRapid NXT 是一款绿光 USP 激光器，可进行大批量精密材料加工。新型 Coherent HyperRapid NXT 532-100 是一款工业超短脉冲 (USP) 激光器，可提供高功率 (100 W) 绿光输出和始终如一的光束质量组合。因此它能够支持需要高吞吐量的要求严格的高精度材料加工应用。

高通量太阳能电池划片

Coherent HyperRapid NXT 的一个主要用途是对由钙钛矿等薄膜材料或背电极交叉接触太阳能电池板等创新技术制成的下一代太阳能电池进行划线和开槽。该过程需要高功率、绿色、超短脉冲来提供必要的精度和所需的材料去除率(以及总体产量)。但这不仅仅关乎功率，还关乎制造商能否扩大生产规模，同时仍确保无可挑剔的质量和成本效益。实现这一目标的一个关键因素是光束质量。

光束质量在该应用中起着如此关键的作用，是因为光学系统中经常使用 衍射光学元件 (DOE)来转换激光束。DOE 可以将输入的激光束分成多束，从而可以同时处理太阳能电池上的几个不同区域。这种并行处理极大地提高了吞吐量。其他工艺使用 DOE 将圆形高斯强度分布激光束转换为强度均匀的方形光束，以优化烧蚀工艺本身。

这里的挑战是 DOE 需要非常圆形的输入光束才能达到理想性能。此外，光束特性必须随时间保持稳定。如果它们不稳定，则系统的光学对准将会发生改变，从而导致工艺不一致。

然而，很难从高功率绿色 USP 激光器获得随时间保持完全稳定的高质量光束。这是因为这些固体激光器使用非线性晶体将其红外输出转换(频率倍增)为绿光。但是高功率 USP 激光器的高脉冲能量可能会损坏或影响晶体，从而降低输出光束质量。

通过内部生产我们自己的高质量非线性晶体，相干公司能够持续提供具有无与伦比稳定性和寿命的绿色和紫外线高功率激光器。

相干公司制造了我们自己的非线性晶体，并且在为绿色和紫外线高功率激光器批量生产非线性晶体方面拥有丰富的经验。简而言之，我们制造质量更好的晶体，可以承受高功率绿色超短脉冲激光的极端操作环境，并且不会扭曲光束形状。这是实现 HyperRapid NXT 长期输出稳定性的关键因素。

面向高级应用的高级功能

这种新型激光器不仅仅具有高功率。而且涉及智能功率。通过稳定的功率调制、按需脉冲和可变重复率，它旨在提供超精密加工任务所需的精细度和控制力。

相干公司长期以来一直通过多种产品支持超精密材料加工应用。这些包括 USP 激光器，例如 Coherent HyperRapid 和 Monaco、我们的多种准分子激光器，以及纳秒脉冲宽度工业激光器，例如 AVIA LX 和 AVIA NX。

Coherent HyperRapid NXT 532-100 是一款 100 W 绿色 USP 激光器，具有良好的性能和可靠性。

现在，我们正在帮助推动这些应用中的许多应用进入更大批量生产，同时又不牺牲这些激光器最初得到广泛使用的优势，例如更平滑、更清洁的特色生产以及在去除材料的同时大限度减小热影响区。特别是，Coherent HyperRapid NXT 532-100 有望提高薄膜太阳能电池图案化、电池箔切割、硅晶片划线等具有挑战性的应用的生产效率。

审核编辑 黄宇