突破创新，为国产半导体装备注入“自主魂”

东土科技持续加快自主研发和创新的步伐，不断提升解决方案完整性和自主可控能力，在刚刚过去的2024年，东土科技智能控制器产品和方案在半导体行业关键设备领域实现了批量应用。凭借在半导体行业关键设备的应用方案，东土科技荣获CMCD年度运动控制领域行业应用奖。

这是行业对东土创新能力、技术实力和市场表现的权威认可，也见证了我们对卓越品质的不懈追求和对客户需求的深刻理解，该方案之所以在高技术要求的半导体行业获得认可，主要是因为如下特性：

灵活高效的基础架构

东土科技的NewPre智能控制器产品为PC架构，其运算快、存储空间大、灵活部署的特点，能为多种运算平台、AI技术应用（策略优化、预测性维护）、数字孪生仿真技术应用提供基础条件，这样的架构也为工业智能化和自动化水平的提升提供了有力支持。

该架构得益于Intewell(鸿道)操作系统的底层支撑，Intewell基于微内核架构设计，实时响应性能达到微秒级，半导体关键制程设备对生产质量要求极高，任何缺陷都可能导致产品失效，Intewell这种虚拟化、高实时，确定性、高可靠的特点，非常适合处理晶圆加工控制过程。

实时+非实时底层构型，并兼具控制功能

实时+非实时底层构型兼容MaVIEW控制软件，可以实现控制程序的多任务、多语言编译和运行，精密控制设备运行，例如，在薄膜沉积领域，实时系统中运行的控制程序需要进行温度和压力的精确控制，防止前驱体低温未完全活化、冷凝和高温分解，还需控制沉积速率确保充分覆盖和填充，控制系统需要进行多任务同步才能保证精确执行工艺步骤。

功能和数据接口的定制化

NewPre系列智能控制器支持厂家自定义数据API与实时系统的无缝衔接，为厂家提供共享内存通道，实现1ms级别周期交互，软件系统内部功能组件和数据接口可以自由定义和组合，使半导体设备腔室的过程数据经过实时与非实时之间的数据接口进行传输，这为半导体设备厂商从控制角度做工艺优化和技术革新提供了条件，使系统更加实时、交互更加方便、运行更加流畅，从而大幅提升设备稳定性和可靠性。

便捷的通讯接口

除了常规配置的以太网、USB等PC常见接口外，还可以进行虚拟化配置和软协议栈加载，使多设备交互更灵活，热连接功能可灵活快速切换EtherCAT在线从站，特别适应半导体设备，另外，半导体设备通常布设若干串口设备，以往用一台串口服务器汇总后再上传到上位机，这种方式非常浪费空间，集成度低，故障风险大，控制器多串口配置可以实现多路串口从站直接与控制器对接，提高集成度，减少延时，节约空间，降低故障风险，更加稳定可靠。

智能控制器还支持自主技术的AUTBUS总线，AUTBUS由东土科技主导推出，已建立国际标准和国家标准，可以解决复杂系统IPV6 统一寻址问题和确定性通信问题，实现了控制协议和工业控制协议全IP化，支撑半导体行业工业控制通信的多设备互联互通。

散热极致优化，体积缩小到传统设备的一半

半导体生产对洁净车间要求高，自动化组件的空间占用要毫厘必争，在以往的控制系统，主要控制核心为多台工控机和嵌入式PLC，空间占用大，智能控制器将工控机的功能和高性能PLC的功能集成，经过精细设计的散热方案，使控制器体积占用仅为原来的一半，提高了洁净空间利用率。

自主可控

当前，核心控制软件在提升半导体生产制造效率、提高产品质量效能等方面的重要作用愈发突出，智能控制器内嵌的Intewell操作系统和MaVIEW控制工具软件为东土全自主研发，Intewell已通过了多个权威机构的第三方测评，内核及主要功能模块自主率达到100%，MaVIEW软件使用自主开发的编译器、运行态控制软件，能够完美协同半导体设备的控制系统开发过程，目前已实际应用于半导体晶圆厂，从而为行业设备注入更多自主核心技术。

从2013年开始，公司就提出了“软件定义未来、承载人工智能”的发展战略，在当前国家新型工业化发展战略的大背景下，东土科技承担着国家“新型工业操作系统”的开发重任， 目前已实现了AI大模型与工业机器人、大模型与自动化机台的融合系统构建，成功将AI技术应用到运动控制任务中，为客户创造更多价值。展望未来，东土科技作为“中国PC控制引领者”将坚持走“国产自主可控”的发展道路，与众多伙伴携手，用技术创新为国产半导体装备注入“自主魂”。

审核编辑 黄宇