季丰电子CA实验室的技术优势

在半导体制造的复杂工艺中，超纯试剂和超纯气体是保障晶圆表面清洁与蚀刻精度的核心材料。然而，痕量金属杂质如Fe、Cu、Na等却成为制约晶圆厂良率提升的关键因素。

季丰电子CA实验室以领先的技术优势，可助力晶圆厂攻克这一难题，为客户提供专业的超纯试剂与气体管道金属杂质检测服务。

一半导体制造中的检测需求

1超纯试剂的关键作用

● SC1、BOE、DHF等超纯试剂被广泛用于清洁和蚀刻硅片表面，去除颗粒、氧化层以及金属化污染物，确保硅片表面疏水性的形成。

● 精准的配比与痕量金属检测是提升制程良率的重要保障。

2超纯气体的核心价值

● 氮气作为惰性吹扫气体，保护硅片免受活性氧和水分的影响。

● 微量金属杂质对半导体器件性能与可靠性造成显著影响。

二CA实验室的技术优势

1专业的样品前处理方式

● 纯净度保障：避免引入额外杂质。

● 多种前处理手段：如直接进样、稀释进样、超纯水稀释等，针对不同样品需求提供精准处理方案。

2高灵敏度检测技术

● 安捷伦ICP-MS/MS & ICP-OES设备：

● ppb甚至ppt级别的检测限，精准识别痕量金属杂质。

● 双重质量过滤消除干扰，保障实验结果可靠性。

● 多元素同步检测：快速分析多种金属杂质，适应半导体多样化需求。

3颗粒度测试能力

• 超精密光学系统：精准识别0.1微米以上颗粒。

• 高效稳定：确保生产线上每次检测结果一致。

4定制化服务

● 提供针对超纯气体管道、超纯试剂的采样与检测方案，如气袋法和吸收液法。

● 确保检测方案与晶圆厂具体需求无缝衔接。

5快速响应机制

● 实验室保证快速响应客户需求，缩短检测周期，为生产过程保驾护航。

三总结

CA实验室以其领先的痕量金属检测技术，为半导体行业提供从超纯试剂到超纯气体的全方位解决方案。通过定制化服务、高效检测和快速响应，CA实验室不仅帮助客户提高产品良率，更推动了半导体产业的品质升级。我们期待与更多行业伙伴携手，共同迈向更高水平的技术发展。

季丰电子

季丰电子成立于2008年，是一家聚焦半导体领域，深耕集成电路检测相关的软硬件研发及技术服务的赋能型平台科技公司。公司业务分为四大板块，分别为基础实验室、软硬件开发、测试封装和仪器设备，可为芯片设计、晶圆制造、封装测试、材料装备等半导体产业链和新能源领域公司提供一站式的检测分析解决方案。

季丰电子通过国家级专精特新“小巨人”、国家高新技术企业、上海市“科技小巨人”、上海市企业技术中心、研发机构、公共服务平台等企业资质认定，通过了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ANSI/ESD S20.20等认证。公司员工近1000人，总部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地设有子公司。