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德国进口蔡司三坐标测量效率的新突破

三本精密仪器 2024-12-23 16:48 次阅读
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德国进口蔡司三坐标 VAST Probing光学ZVP”是ZEISS CALYPSO新版本软件中的一亮点功能。它采用优化数据采集算法,显著缩短了离散点的测量时间,效率提升高达30%~50%。在实际测量过程中,借助ZVP功能,光学图像传感器ViScan Discovery.V12 standard 100和ViScan Discovery.V12 scout 160可以实现更快速的图像采集,从而大幅节省测量时间。


经测试,在相同时间内,标准模式下接触式测头仅能测量6个点,而启用ZVP探测模式后,测量点数提高至9个,检测效率得到明显提升。

以一客户的半导体涂层喷淋花洒工件为例,直径 332mm 的圆盘上密布近 2000 个 D0.3 小孔,精准测量各小孔直径与圆度,确保尺寸和形状符合工艺要求以避免喷淋涂层不均,是客户的核心诉求,而测量准确度与效率是关键所在。经过比较分析,O - INSPECT 凭借ZVP功能脱颖而出成为理想之选。

对比试验
考虑到工件保密性,以下我们采用具有相似元素的工件进行代替实验,实验结果依然具有说服力。

测试工件:带有多个呈一定规律排列的孔的PCB板。
测量需求:测量每个孔的直径及圆度。

wKgZomS06dSAQOTpAAuP4MXWBR0202.png

实验设计
在实验设计过程中,针对工件小孔数量众多易导致测量时间过长,尤其在大批量相同工件测量时严重影响效率的问题,我们深入探索如何有效减少测量时间、提升测量效率。

在使用德国进口蔡司三坐标O - INSPECT 测量时,ZVP 功能提供了两个关键设置参数,其设置路径明确便捷:程序元素编辑-CMM参数-探测参数(以下简称为探测参数)程序元素编辑-照相机-常规设置-测量时间优化(以下简称为测量时间优化)

针对以上分析,我们设计了如下对照组实验,观察测量时间是否减少。

wKgZPGdpI6iAdus6AAEu68edeqs160.png

对照组一: 探测参数(未启用)+测量时间优化(未启用)
1.首先选取一个圆作为起始元素,设置好对应的测量策略;
2.按照一般的测量方法,程序里对应参数无设置,即探测参数和测量时间优化均不选。
3.示例中所测孔的数量为35*3=105个,测量视频如下,共计用时100s

wKgZO2dpI7CAOkToAAFYBajZOwU657.png

对照组二: 探测参数(VAST探测模式)+测量时间优化(3-运行优化,减少显示,无默认报告)
1.首先选取一个圆作为起始元素,设置好对应的测量策略。
2.选择对应优化参数,探测参数选择VAST探测参数(即ZVP功能),测量时间优化选为 3-运行优化,减少显示,无默认报告。
3.示例中所测孔的数量为35*3=105个,测量视频如下,共计用时60s。

wKgZO2dpI7aAfh-lAAFQYLRJs70119.png


对照组三: 视图阵列测量+探测参数(VAST探测模式)+测量时间优化(3-运行优化,减少显示,无默认报告)
1.为圆1设置元素阵列,为35*3。
2.将阵列后的圆移动到CAD显示框的中间,示例中目前一个视场下可看到4*3个圆。
3.选中圆1后,右键-更新照相机测量位置X和Y(从当前相机位置),输入4/3。同样的,运行参数选择为探测参数(VAST探测模式)+测量时间优化(3-运行优化,减少显示,无默认报告)。
4.测量时长为32s。

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