揭秘半导体检测新宠：立仪光谱共焦传感器技术！

随着科技的飞速发展，半导体工业已经成为现代信息技术社会的支柱产业之一。在制造过程中，每一个环节都要求极高的精确度和稳定性，这就对测量技术提出了巨大的挑战。光谱共焦传感器，作为一种新兴的高精度非接触式测量工具，正在这一领域中发挥越来越重要的作用。立仪科技小编在深入探讨光谱共焦传感器在半导体制造中的广泛应用及其带来的技术革新。

光谱共焦技术的基本原理

通过控制器中的宽光谱光源发出的复色光，经过照明孔、分光棱镜后，被物镜色散，最后以不同波长的光投射到被测物体表面，能聚焦在表面的波长光线就会反射到对应的针孔中，最后通过表面焦点和图像平面焦点间的共轭关系，从而计算出测距值。

揭秘半导体检测新宠：立仪光谱共焦传感器技术！

半导体制造中的关键应用

1.晶圆翘曲度检测

在半导体制造过程中，晶圆的翘曲度是一个常见的问题，它直接影响到光刻过程的精准度和最终产品的质量。光谱共焦传感器能够提供高分辨率的三维形貌数据，帮助工程师准确测量晶圆的翘曲程度，并进行必要的调整以确保产品质量。

2.薄膜厚度测量

半导体设备中经常涉及到多层薄膜的涂覆，每层的厚度都需要严格控制。
光谱共焦传感器以其纳米级的测量精度，成为控制薄膜涂覆质量的理想工具。

3.设备振动监测

半导体制造设备在运行中会产生微小振动，这些振动如果不及时校正，可能会影响产品的质量。使用光谱共焦传感器可以实时监测设备的振动状态，确保生产过程的稳定性。

揭秘半导体检测新宠：立仪光谱共焦传感器技术！

立仪简介

立仪科技是一家光谱共焦位移测量传感器为主的研发、生产、销售、服务一体化的精密光学测量国家级专精特新企业。

专注光谱共焦行业10年

公司于2014年成立，以打造高规格的光谱共焦位移传感器并减少成本普及推广为志向。经过10年行业深耕，目前光谱共焦技术产品在测量精度、分辨率、测量角度、稳定性和软件算法等方面具有行业领先优势！

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突破技术封锁

汇集光学、机械、软件人才昼夜奋战，数年磨一剑，破除国外技术封锁，开发出具有自主知识产权的全球第一款入光出光独立、全球第一款棱镜光谱仪的光谱共焦位移传感器等系列产品，并获得了多项国家发明专利！

自主研发，创新赋能

我们坚持自我研发与创新，致力成为光谱共焦高精度测量行业技术领导者，成就国货之光。为提供高性能产品和优质服务，让科技利益众生，赋能企业高精度制造！

审核编辑 黄宇