0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

掩膜版的技术迭代

苏州汶颢 来源:jf_04320819 作者:jf_04320819 2024-09-10 14:00 次阅读
加入交流群
微信小助手二维码

扫码添加小助手

加入工程师交流群

掩膜版产品诞生至今约70多年,是电子制造行业中使用的生产制具。由于掩膜版技术演变较慢,下游运用广泛且不同行业对掩膜版的性能、成本等要求不同,不同代别的产品存续交叠期长,如第二代菲林掩膜版诞生于二十世纪60年代初,至今仍在PCBFPC、TN/STN等行业使用。
1)手绘菲林
掩模板发明于20世纪50年代,早期的掩模板是纯手工绘制,将人们用最普通的坐标图纸,盖上一层红色的膜。至于为啥是红色,最主要的原因是红膜遮光性比较强。
做好了一层红膜后,其实这也是过渡方案,在进行芯片生产前,还需要微缩相机把整个掩模板的尺寸进行缩小,有时还需进行多次微缩。

wKgaombf4C6AIZvdAAOefamqAkc322.png

2)计算机辅助
20世纪70年代,工程师们开始在计算机上作图,通过在计算机上实现二维坐标轴的建立,但是因为当时的屏幕不大,鼠标也不像现在这么成熟,当时仍有部分工程师还在使用坐标纸画图。

3)电子设计自动化
20世纪90年代,针对越来越多的晶体管数量,一条一条线去勾勒芯片架构的时代已经过去,取而代之的是EDA软件,EDA软件是指用计算机辅助设计来实现集成电路芯片的功能设计、综合、验证、物理设计(包括布局、布线、版图、设计规则检查等)等流程的设计方式。至此,人们终于不需要再用纸和笔来设计芯片了。现在的芯片设计过程,从芯片的功能设计,到电路结构设计,再到芯片版图的物理实现,全部借助于EDA软件来完成,其中还包括复杂而精确的设计检查、模拟仿真等,可以保证容纳了上百亿只晶体管的芯片设计万无一失。

wKgZombf4FKARzXpAALgGjHSjIU210.png

掩膜版产品优势主要是其在转移电路图形过程中的精确性和可靠性,第五代掩膜版产品拥有较高的光学透过率、较低的热膨胀系数、良好的平整性和耐磨性以及能够实现较高的精度被广泛运用于各个行业。
未来潜在的风险是无掩膜技术的大规模使用,无掩膜技术因仅能满足精度要求相对较低的行业(如PCB板)中图形转移的需求,且其生产效率低下,而无法满足对图形转移精度要求高以及对生产效率有要求的行业运用,因此不存在被快速迭代的风险。

wKgZombf4FqALWw9AAEhxbSVxRI579.png

头部的第三方掩膜版厂具备精密制程的量产能力,如Photronics、DNP的技术节点已达5nm,Toppan的技术节点达14nm;而包括台湾在内的国内厂商主要产能还在65nm以上。
技术难点
光掩模版的技术难点主要在于光刻环节中,对制程的要求、对位置精度的控制、对曝光的控制、与光刻机设备的匹配等问题。

wKgaombf4GGAT187AALXcoHKN4E131.pngwKgaombf4GSAEV6KAAOmJWSw_6c790.png


免责声明:文章来源汶颢www.whchip.com以传播知识、有益学习和研究为宗旨。转载仅供参考学习及传递有用信息,版权归原作者所有,如侵犯权益,请联系删除。

审核编辑 黄宇

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 芯片
    +关注

    关注

    462

    文章

    53526

    浏览量

    458824
  • eda
    eda
    +关注

    关注

    72

    文章

    3053

    浏览量

    181458
  • 掩膜
    +关注

    关注

    0

    文章

    28

    浏览量

    11999
收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二维码

扫码添加小助手

加入工程师交流群

    评论

    相关推荐
    热点推荐

    FOSAN富捷科技厚电阻:精研技术内核,赋能电子产业全场景升级

    领域多年,凭借 “场景化产品布局、全维度品质核验、标准化工艺管控、前瞻性技术迭代” 四大优势,为消费电子、汽车电子、工业控制等领域提供定制化元件解决方案,助力电子产业加速落地升级。
    的头像 发表于 09-06 13:36 804次阅读
    FOSAN富捷科技厚<b class='flag-5'>膜</b>电阻:精研<b class='flag-5'>技术</b>内核,赋能电子产业全场景升级

    投资笔记:半导体版的投资逻辑分析(含平板显示)(13634字)

    目录一、什么是版:定义、分类二、版制造加工工艺:关键参数量测及检测三、版产业链:产业
    的头像 发表于 06-07 05:59 1703次阅读
    投资笔记:半导体<b class='flag-5'>掩</b><b class='flag-5'>膜</b>版的投资逻辑分析(含平板显示)(13634字)

    跨越摩尔定律,新思科技方案凭何改写3nm以下芯片游戏规则

    。 然而,随着摩尔定律逼近物理极限,传统掩模设计方法面临巨大挑战,以2nm制程为例,版上的每个图形特征尺寸仅为头发丝直径的五万分之一,任何微小误差都可能导致芯片失效。对此,新思科技(Synopsys)推出制造解决方案,尤其是
    的头像 发表于 05-16 09:36 5444次阅读
    跨越摩尔定律,新思科技<b class='flag-5'>掩</b><b class='flag-5'>膜</b>方案凭何改写3nm以下芯片游戏规则

    光刻图形转化软件免费试用

    光刻图形转化软件可以将gds格式或者gerber格式等半导体通用格式的图纸转换成如bmp或者tiff格式进行掩模版加工制造,在加工领域或者无光刻领域不可或缺,在业内也被称为矢量
    发表于 05-02 12:42

    【「芯片通识课:一本书读懂芯片技术」阅读体验】芯片怎样制造

    版 光版使芯片设计与芯片制造之间的数据中介,可以看作芯片设计公司传递给芯片制造厂的用于制造芯片的“底片”或“母版”。 光
    发表于 04-02 15:59

    永磁同步电机二阶迭代学习控制

    针对永磁同步电机存在的周期性脉动问题,提出了一种二阶 PD-型迭代学习控制策略,该算法能够 有效实现最优跟踪控制 。利用卷积的推广 Young 不等式,获得了系统跟踪误差在 Lebesgue-p
    发表于 03-26 14:28

    TRCX应用:显示面板工艺裕量分析

    制造显示面板的主要挑战之一是研究由工艺余量引起的主要因素,如CD余量,错位和厚度变化。TRCX提供批量模拟和综合结果,包括分布式计算环境中的寄生电容分析,以改善显示器的电光特性并最大限度地减少缺陷。 (a)参照物 (b)
    发表于 03-06 08:53

    航空发动机涡轮叶片气孔的制造及检测技术

    冷却技术是支撑航空发动机热端部件承温能力提升的关键核心技术,使冷却气流经过气孔等冷却结构喷射而出,形成覆盖热端部件表面的冷却气,使其
    的头像 发表于 03-04 11:22 2284次阅读
    航空发动机涡轮叶片气<b class='flag-5'>膜</b>孔的制造及检测<b class='flag-5'>技术</b>

    铬板和光刻的区别

    版作为微纳加工技术中光刻工艺所使用的图形母版,在IC、平版显示器、印刷电路版、微机电系统等领域具有广泛的应用。随着信息技术和智能制造的快速发展,特别是智能手机、平板电脑、车载电子等
    的头像 发表于 02-19 16:33 959次阅读

    版、模具与微流控芯片及其制作方法与用途

    版与光罩的区别与应用 版和光罩是半导体制造过程中的两个重要概念,它们虽然都扮演着不可或缺的角色,但存在一些区别。
    的头像 发表于 02-18 16:42 917次阅读

    正性光刻对版有何要求

    正性光刻对版的要求主要包括以下几个方面: 基板材料:版的基板材料需要具有良好的透光性、稳定性以及表面平整度。石英是常用的基板材料,因为它具有较低的热膨胀系数,能够在温度变化时保
    的头像 发表于 02-17 11:42 784次阅读

    光刻技术介绍

       光刻简介      光刻(Photomask)又称光罩、光、光刻
    的头像 发表于 01-02 13:46 4579次阅读
    光刻<b class='flag-5'>掩</b>膜<b class='flag-5'>技术</b>介绍

    清洗EUV版面临哪些挑战

    本文简单介绍了极紫外光(EUV)版的相关知识,包括其构造与作用、清洗中的挑战以及相关解决方案。
    的头像 发表于 12-27 09:26 1205次阅读

    正性光刻对版的要求

    在正性光刻过程中,版(Photomask)作为图形转移的关键工具,其性能直接影响到最终图形的精确度和质量。以下是正性光刻对版的主要要求: 图案准确性 在正性光刻中,
    的头像 发表于 12-20 14:34 1065次阅读

    厚测试仪的测量范围 厚测试仪的操作注意事项

    的测量范围取决于其设计和使用的测量技术。常见的厚测试技术包括: 磁性法 :适用于测量磁性基底上的非磁性涂层厚度,如钢上的油漆、塑料等。 涡流法 :适用于测量非磁性金属基底上的涂层厚度,如铝、铜等。 超声波法 :适
    的头像 发表于 12-19 15:42 1938次阅读