TEL、富士金和TMEIC开发出沉积工艺用新型臭氧浓度监测仪

来源：TOKYO ELECTRON

前言

近日，Tokyo Electron(TEL)、富士金株式会社和TMEIC株式会社共同开发出一款调控半导体制造的沉积工艺中臭氧浓度的新型监测仪，并对该监测仪与臭氧发生器的兼容性进行全面测试。此次的联合开发也是TEL发起并推动的供应链倡议E-COMPASS的一部分。

01
背景BACKGROUND半导体制造过程的沉积步骤需要使用臭氧来形成各种氧化物薄膜，并通过可靠的臭氧浓度检测仪实时监测臭氧发生器的状态和性能。传统的臭氧浓度测量技术之一是紫外吸收法，该方法利用的是臭氧对不同波长的紫外线吸收程度不同的原理，而缺点是，因汞是有害物质，需要对使用了汞紫外的灯源进行定期更换*1。TEL、富士金和TMEIC共同研发的无汞且免维保的臭氧浓度监测仪和臭氧发生器，可以解决这一问题。

02臭氧浓度监测仪的特点FEATURES

不含汞、免维保、低功耗

■ LED紫外光源，保持并优于传统检测仪的性能可靠性。

■ 不含汞，对环境不产生有害物质。

■ 与传统的两年更换一次灯源的频率相比，LED灯源具有超过10年的经久耐用程度，免去维保的后顾之忧。

■ 配置LED的监测仪，实现耗电量从25W降至3W（降低88%）。这相当于每台监测仪每年减少77.1千克的CO2e*2的排放量。

图：新型臭氧浓度监测仪

03环境价值ENVIRONMENTAL VALUE

减少CO2e排放量和运行成本

此次开发的新型臭氧浓度监测仪适用于半导体制造设备和臭氧发生器。未来五年，臭氧发生器的需求规模将翻一番，采用新型臭氧监测仪有望帮助工厂减少310吨CO2e排放量和约1亿日元的灯源更换费用。

04技术共创TECHNOLOGY CO-CREATION

在此次环境技术合作中，富士金与TEL共同开发了臭氧浓度监测器，由TMEIC在其臭氧发生器上对该监测仪进行测试和性能验证， 从而确保该监测仪适用于多个领域，其中也包括TEL的半导体制造设备和配套设施。

05企业理念CORPORATE PHILOSOPHY

为应对数字化和绿色社会的未来全球趋势的到来，今后，TEL将一如既往与业务伙伴保持紧密合作，积极提供友好环境的设备并为设备开发环保技术。在这些业务开展过程中，努力践行"通过先进的技术和可靠的服务，为创造富有梦想的社会做贡献"的企业理念。