北方华创微电子装备公司取得一项温度控制专利

北京北方华创微电子装备有限公司近期荣获一项名为“半导体工艺设备中温度控制装置及方法”的创新专利，授权公告号为CN113013071B，授权公告日为2024年5月17日，申请日期为2021年3月31日。

本发明涉及一种用于半导体工艺设备的温度控制装置和方法，具体包含第一温控源、第二温控源、第一输出管道、第二输出管道、第一回流管道、第二回流管道、第一短路管道、第二短路管道以及控制器等部件。其中，两个温控源的输出口经由两个输出管道与卡盘的进口相连，回流口则通过两个回流管道与卡盘的出口相接；同时，两个输出口还通过两个短路管道与各自的回流口连接。每个管道上都设有通断开关，而控制器则负责依次连通或断开这些开关，实现卡盘与两个温控源之间的连通切换。值得注意的是，两个温控源所使用的温控介质的温度并不相同。本发明的实施有助于提升温度控制范围、缩短控温时间，并有效解决两个温控源中流体串混的问题。