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在SPICE模拟器中应该调谐优化哪些模型参数?需要全部调优吗?

中科院半导体所 来源:SPICE 模型 2024-03-06 10:37 次阅读

在SPICE模拟器中有几十种标准的半导体器件模型,例如,用于GaN器件的最新ASM-HEMT模型有近200个模型参数,而一个硅基的CMOS器件的BSIM4模型拥有更多的模型参数。

所以,应该调谐优化哪些模型参数?需要全部调优吗?按照什么顺序呢?这可能是一些建模工程师困惑的问题。本文将从模型开发思路,模型公式,模型参数抽取策略来探讨这个问题。

一般来说,无论是硅基器件还是III-V器件模型,都是从晶体管应该如何工作的理想概念(Core Model)构建的,许多假设都试图简化数学复杂性,同时仍然保持基本的物理性,然后逐渐添加越来越多的真实效应或者二阶效应。

模型开发思路

以ASM-HEMT模型为例,如下所示,我们可以看到在Core Model上面增加很多真实的效应。只有20% - 30%的模型参数占了基本的Core Model,其余的参数都是试图解决各种现实世界挑战的附加参数,考虑到收敛性,加上一些平滑参数,以实现高阶导数的连续性和平滑性,并用于实现所有所需的仿真类型,如DC仿真,AC仿真,S参数仿真,谐波平衡等。

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The picture is from DrSourabh Khandelwal, lead developer of the ASM-HEMT model

虽然有200多个参数,但从模型开发的思路来讲,我们首先要优化的参数应该是Core Model参数,然后只在测量数据中显示出相应的影响时调整那些额外的参数,比如,场板效应,Trapping效应等。这些参数通常会有Flag控制开关,我们可以先将其关闭,当我们看到测试数据有反应这类特性时,再依次打开Flag参数进行调谐优化。

模型公式

Core Model以及这些真实的效应是如何实现的呢?目前,业界使用的标准的晶体管模型多为物理模型,如ASM-HEMT、BSIM4, BSIMCMG和PSP等。它们都是通过复杂的解析函数实现。解析函数往往是通过半导体器件物理相关的知识和求解泊松方程,进行公式推导和简化得到的。

通常都是器件几何尺寸(W, L, NF),温度(T)和偏压(Vgs, Vds, Vbs)的函数。从用户端的角度看,这些函数反映的就是现实世界中器件的性能。

分析此类多维问题的一种实用而科学的方法是,在给定时间,只查看一个或两个Target(例如阈值电压,Vth),并找到一种将所有其他变量视为不变的方法,即控制变量法。例如,由BSIM4得到的室温阈值电压模型方程如下所示,其中有20多个模型参数(如VTH0, K1, LPEB等)。

803778d2-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

观察这个公式,会发现比较复杂,而且是器件几何尺寸(W, L)和偏压(Vgs, Vds, Vbs)的函数,改变几何尺寸,偏置电压都会导致Vth的变化。很难同时将所有参数都优化好,这时我们就需要用到控制变量法,例如,如果我们选择观察Wmax和Lmax器件,这样我们就可以有效地忽略短沟道效应和窄沟道效应,从而去掉带有Leff和Weff的项,那么方程的项就会减少,如下图所示。

8044d982-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

如果我们进一步选择在最小条件下测量和查看Vds和Vbs,例如Vds=Vdlin和Vbs=0,那么我们可以忽略DIBL(漏致势垒降低),CLM(沟道长度调制),Self-Heating(自加热),速度饱和等许多其他二阶效应的影响,方程将变成Vth=VTH0。

在相同条件下,从Id-Vg曲线中提取Vth,我们可以立即从测量数据中确定VTH0,如下图所示:

8056ad7e-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

通过这种近似,我们确定了一个参数VTH0,那么其他的参数该如何确定呢?我们可以继续应用这个策略,只引入一个变量,比如Vbs,然后找到所有其他项都可以忽略的适当条件,即Wmax/Lmax/Vdlin。这个等式现在变成了下面这样:

805a6928-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

现在未知的模型参数为K1和K2,我们可以很容易地通过模型参数提取软件MBP等,从Vth vs Vbs曲线中提取出来,如下图所示。

80637e32-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

接下来,我们可以打开Leff项,观察Vth vs L趋势,并调整Leff相关参数。同样,简化时需要考虑Wmax/Vbs=0/Vdlin的条件,从而有效忽略其他项,如下所示:

806e60c2-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

其中我们主要调整或优化Vth vs L曲线上的LPE0, DVT0, DVT1。

80722e46-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

类似地,我们可以只打开Weff条款(W0, DVT0W, DVT1W),然后只打开Vds条款(ETA0, DVTP02/3/4/5等)。当然,有些参数是多方面耦合的,例如LPEB同时绑定了Leff和Vbs, K3B同时绑定了Vbs和Weff。这种情况,我们可以在Vth_L_Vbs图上观察这两个趋势,如下图所示。

8091f9b0-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png      

模型参数抽取策略

理解了这些规律,那我们要抽取出所有的模型参数,需要对应的模型参数抽取策略,模型参数抽取软件能够更好地帮助我们实现。因为我比较熟悉Keysight MBP,所以以MBP为例,在这做一些简单说明。

为了比较方便地说明,我这里使用MBP的“Double Sim”功能,它能够同时生动地查看所有图上的模拟更新。当我们调整模型参数时,之前的仿真结果以实线形式保持在图上,而新的仿真结果以虚线形式显示。

809aa326-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

让我们从W/L矩阵开始,如下图所示,一个红点代表一个器件的尺寸。为了生成一个可扩展的模型,需要一系列的尺寸。

不过,为了简化说明,我们只选择3 × 9个红点,这足以揭示趋势。

80ad8086-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

首先显示3x3的器件尺寸的Id-Vg曲线,如下图所示。当调整VTH0时,我们观察到所有W和L上的Id-Vg曲线的变化。

80bab74c-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

然而,在调整DVT0时,我们只看到Lmin尺寸上Id-Vg的偏移,而W上没有变化,如下图所示。这表明DVT0对最Lmin尺寸上的deltaVt有更强的影响,同样W0对Wmin尺寸上的deltaVt影响更大。

80bffaae-dadc-11ee-a297-92fbcf53809c.png  

模型参数提取工具带给我们的好处是所有的仿真都是实时的,当我们调整模型参数时,这些图将一起动态变化。

另外,这些模型参数提取工具中还推荐了专业的模型参数抽取的流程,这对于初学者来讲,是学习的最佳体验。





审核编辑:刘清

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原文标题:应该调谐优化SPICE模拟器中的哪些模型参数?

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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