用于量子应用的GEN20-Q MBE系统

来源：半导体芯科技编译

Veeco Instruments 已向位于台湾新竹科学园区的半导体和光电子客户 Hermes-Epitek 交付了一套 GEN20-Q 分子束外延 (MBE) 系统。

GEN20-Q MBE 系统是专为量子器件生长而设计的多腔室系统，将用于超导体和半导体材料的外延生长，具有优异的晶体和超导特性。这种工艺能力将进一步提高关键器件的特性，并实现从研究开发到大批量生产的规模化。

Veeco MBE 集团高级营销总监 Matthew Marek 评论说："GEN20-Q 系统的出货代表了 Veeco 对量子计算技术革命的持续贡献。"领先的技术公司认可我们的知识和工艺能力，不仅通过 MBE 平台，还通过原子层沉积来支持量子技术，对此我们深感自豪。这些都是有助于推动行业进步的重要技术。我们期待与 Hermes-Epitek 这样的合作伙伴一起不断创新。

根据 Yole Group 发布的《2023 年量子技术》报告，量子技术投资已超过 300 亿美元，其中约 75% 用于量子计算硬件。

Veeco 的 GEN20-Q MBE 系统采用量身定制的设计，支持多种量子计算技术的研究和生产，包括超导材料、自旋电子学和高速光调制。该系统采用了生产设计技术，可直接扩展到 Veeco 的多晶片大批量制造 MBE 系统。该系统的出货体现了 Veeco 在建立旨在推动量子技术发展的量子计算合作伙伴网络方面所取得的成功。Veeco 为能够站在这些激动人心的发展的前沿而感到自豪，并很高兴能够继续与其合作伙伴合作，推动行业发展。

*此篇编译文章未经允许，请勿转载。

审核编辑 黄宇