中微公司Primo D-RIE®作为首台设备顺利搬入客户生产线

12月28日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）刻蚀设备Primo D-RIE顺利付运国内优秀的集成电路制造及研发设计服务商——广州增芯科技有限公司（以下简称“增芯”），本次交付的Primo D-RIE也是该客户12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线建成后搬入的首台设备。

增芯首台设备搬入仪式在广州市增城智能传感器产业园举行，增城区政府领导、增芯领导团队、中微公司代表及众多合作伙伴出席仪式。增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目，占地面积达370亩，分两期建设。根据规划，项目一期将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线。随着首台设备的顺利搬入，也标志着项目建设进入全新的阶段。

此次付运至客户的12英寸双反应台多反应腔主机系统Primo D-RIE，专为优化产量而设计，可以配置多达三个双反应台反应腔，每个反应腔既可以独立操作，又可以同时加工两片晶圆。凭借在大规模生产中稳定可靠的性能表现、较低的生产成本、较高的生产效率和卓越的芯片加工性能，Primo D-RIE已获得众多全球领先的芯片制造商的认可与肯定。

仪式上，增芯董事长陈晓飞谈到项目时表示，“今年9月，增芯项目主体结构正式封顶，仅短短三个月的时间，项目首台设备Primo D-RIE已正式搬入并装机。这其中离不开相关部门的大力支持，也离不开全体员工锲而不舍的拼搏奋斗，更离不开如中微公司一般的优秀合作伙伴的全力配合及共同努力。”

中微公司副总裁、中微广州总经理张凯先生表示，“中微公司Primo D-RIE作为首台设备顺利搬入客户生产线展现了客户对中微公司技术能力与卓越服务的高度信任，今后，在设备安装、工艺调试、产品通线和量产过程中，我们也将持续为客户提供优质的服务与支持，助力客户实现发展和盈利目标，和行业伙伴一起为加快构建集成电路产业格局贡献力量。”

中微公司持续拓展和优化刻蚀设备产品线，以满足客户日益严苛的技术需求。除Primo D-RIE双反应台刻蚀设备以外，CCP刻蚀设备系列还包括双反应台刻蚀设备Primo AD-RIE、单反应台刻蚀设备Primo SSC AD-RIE、Primo HD-RIE和刻蚀及除胶一体化的 Primo iDEA。此外，中微公司的产品线还包括薄膜设备和MOCVD设备。这些产品为客户提供了全面综合的设备解决方案，用于先进工艺和特色工艺的多种应用。