国产化率仅3%？美日荷限制之下，这家韩国检测设备商在中国赚大了！

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编辑：感知芯视界

12月11日消息，自去年10月美国出台对华半导体限制新规之后，今年日本和荷兰也相继跟进限制了先进半导体设备的对华出口。但是，这也给其他尚未出台类似限制政策的国家的半导体设备厂商带来了新的机会，毕竟中国大陆目前仍是全球最大的半导体设备市场。

据DigiTimes报道，韩国光学晶圆检测设备制造商Nextin近期已经与一家未公开的中国客户签署了一家价值为70亿韩元（约合539万美元）的采购协议，购买了其一台型号为 Aegis-3 的检测设备。据称，该设备的检测速度比上一代的 Aegis-2 快了 30%，计算性能为 1.47 TFLOPS。

Nextin代表Park Tae-hoon表示：“第三代Aegis设备将被运送到中国委托工厂和存储器企业。预计部分第二代Aegis设备的订购顾客将要求升级为第三代设备。”

上个月的信息还显示，得益于美日荷对华半导体设备的出口限制，Nextin已经向两家中国大陆芯片制造商供应了数台型号为 Aegis-2 的检测设备，交易的总价值约为 200 亿韩元。

可以说来自中国市场的旺盛需求，推动了Nextin业绩的快速增长。财报数据也显示，Nextin今年第三季度，Nextin收入为 423 亿韩元，营业利润为 234 亿韩元，分别比上年增长 180% 和 230%，营业利润率也高达 51.6%。Nextin在此前的采访中也指出，预计其今年来自中国大陆的收入将比 2021 年翻一番，占公司收入的 70% 左右。并且，中国销售额的增长帮助 Nextin 目前积累了价值 1200 亿韩元的订单。

为了进一步开拓中国市场，今年8月25日，Nexting公司还与无锡高新区、无锡市产业集团签约合作，宣布投资2亿美元在无锡建半导体高端检测量测装备生产研发基地，将专注半导体晶圆和半导体硅片高端检测、量测装备的研发、生产及销售，并计划设立技术研发中心、形成自有知识产权，提高产业链供应链韧性和安全水平。

资料显示，韩国Nextin公司成立于2010年，已于2020年在韩国上市，是韩国一家集成电路和显示面板失效检测和量测设备的供应商，总部位于韩国京畿，也在以色列设有研发中心，行业竞争对手包括美国科磊（KLA）、日本日立等公司，应用领域涉及存储芯片、逻辑芯片等，主要客户包括三星电子、SK海力士、福建晋华、长鑫存储、中芯国际、长江存储等。

据了解，从技术路线原理上看，半导体检测和量测设备主要包括光学检测技术、电子束检测技术和 X 光量测技术，其中光学检测技术空间占比较大。根据 VLSI Research和 QY Research 的报告，2020 年全球半导体检测和量测设备市场中，应用光学检测技术、电子束检测技术及 X光量测技术的设备市场份额占比分别为 75.2%、18.7%及 2.2%。需要指出的是光学检测工具比电子束检测及 X光量测设备速度更快。

半导体光学检测设备旨在使用明场（通过反射光获取图像）和/或暗场（使用散射光进行检测）模式快速检测晶圆上的问题。Nextin 的 Aegis系列检测设备基于其创新的2-D成像技术及及其获得专利的双镜焦平面组装技术，可以在明场和暗场照明同步进行高灵敏度、高速度地检测 200 毫米或300 毫米晶圆。其中，基于明场法可以发现小至 15nm 的缺陷，依靠散射光的暗场方法可以检测 30nm 的缺陷。Aegis系列检测设不仅可以检测桥接、减薄、突出和底脚等图案缺陷，还可以检测所有半导体制造工序中薄膜、图案生成、平坦化、离子注入和清洁过程中的划痕和颗粒，从而获得卓越的晶圆质量，为客户带来投资回报。

虽然Nextin 的 Aegis系列设备的分辨率可能并不那么令人印象深刻，但缺陷不必像晶体管特征尺寸那么小也会影响设备的功能。尺寸为 15nm的缺陷仍然会严重破坏或损害14nm或7nm制程工艺节点中结构的运行，因此检测也是至关重要。

目前在半导体检测设备是前道设备国产化率最低的环节之一。根据VLSI Research的数据显示，在体检测设备市场，主要被科磊（KLA）、应用材料、日立等国外厂商所占据，他们的市场份额分别为 54.8%、9.0%和 7.1%。

根据东吴证券研究所测算，国产半导体检测设备厂商中科飞测、上海精测、上海睿励三家企业 2022 年销售收入合计约为 7.46 亿元，对应中国大陆市场份额不足 3%。若以批量公开招标的华虹无锡为统计样本，据不完全统计，2022 年华虹无锡完成量/检测设备招标 47 台，其中国产设备中标 1 台，国产化率仅 2%，远低于去胶机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等环节。

不过，目前在国内自主可控的趋势之下，本土检测设备企业的技术也快速推进。目前中科飞测多款产品已通过 28nm 产线验收，2Xnm产线设备正在验证，1Xnm 产线设备正在研发。此外，上海精测电子束检测设备已经进入 1Xnm 验证，上海睿励自主研发的光学薄膜量测设备也已进入 14nm 产线验证。

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审核编辑 黄宇