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介绍一下芯片的VIA pillar

冬至子 来源:伟酱的芯片后端之路 作者:伟酱的芯片后端之 2023-12-06 14:00 次阅读

Via pillar,又可以叫Via ladder。貌似Cadence家喜欢叫pillar,synopsis喜欢叫ladder,我也不知道它们为啥不能统一一下名称。这应该是这两年新出的概念,主要应用在5nm及以下先进工艺制程中。我就以我个人的理解稍微介绍一下这种技术。

Pillar,柱子,ladder,梯子。它指的是这样一种结构:当需要把金属从低层连到高层时,比如M1到M5,每一层都多添加一些shape,这些shape分别与上下层彼此通过VIA相连,最终连到M5再合并为一个shape出来,中间的M2到M4就像一个个井字或者田字,就像我们玩的抽木块的游戏一样。

更具体一点,比方说一个clock cell M1出Z pin,我现在给他上了NDR,希望他能在M5层绕线。传统的方法就是直接一摞via直接叠上去,电流路线只有一个。

现在用了via ladder,我可以pin上打三个via,然后M2接3个shape;然后M2上每个shape打两个via,M3接两个shape,每个shape都接到M2的三个shape上。

这2个还是3个还是更多都是可以指定的。如此一来,每层金属不再是单一的一个via,而是相当于增加了多个shape,有多条电流通路,给人的感觉就像整个结构的支撑更多了。

那么,这样的设计意义何在?可能大家也能猜到了,最重要的意义就是减小了电路的电阻,并且分担了电流,能有效改善EM(电迁移)的问题。相对于传统的方法:加redundant via来说,加via ladder的改善效率无疑更高一些。

另外,加redundant via还有诸多限制,好像在用到DPT时就比较难加,也不是想加就能加的。Via pillar除了有改善EM的好处外,还可以想到对timing肯定也会更好,对IR drop也会更好,对DFM(可制造性)更好,等等。

那么,既然有如此多好处,我们为什么不在不那么先进的工艺就用到呢?答案是没必要。老的工艺线宽没有到10nm以下,电阻率本身也不高,EM的I limit也会相对大,打几层via叠在一起其实也并没有影响太多,而使用via ladder却有一个致命的缺点:占用绕线资源。

相对来讲,绕线资源可是宝贵许多呀!所以一直到现在的先进工艺制程,才开始用到via ladder这种技术。

Via ladder的缺点也挺明显的,它会占用许多绕线资源。它不仅仅是各个金属层都少了一点那么简单,要知道,在用传统的via单堆叠的方式时,他可以不完全直上直下地堆叠,在层间可以灵活地稍微偏离一点,来给其他net让位置。

但是对于via ladder来说,它的结构就相对稳定,tool也不好更改,感觉就如同在那个区域加上了routing blockage一样。所以,via ladder的使用还是要相对谨慎的,一般会用在clock cell上,一般其他的cell用的不多。

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