2023 SITRI DAY-攀十而上 精微致远

编辑：感知芯视界

2023年12月1日， 2023上海国际微技术研究与创新论坛（2023 SITRI DAY），暨上海工研院十周年庆、第四届菊园科技创新论坛、MEMS WORLD SUMMIT活动在科创之城——上海嘉定顺利举办。

本次SITRI DAY活动由上海市科学技术委员会、上海市经济和信息化委员会、上海市国有资产监督管理委员以及上海市嘉定区人民政府联合指导，由上海微技术工业研究院、嘉定区菊园新区管委会、MEMS WORLD SUMMIT主办，上海新微科技集团有限公司、上海菊园经济发展中心联合主办，上海嘉定区菊园科技企业服务中心、中国传感器与物联网产业联盟、上海市集成电路行业协会、上海集成电路材料研究院协办。本次活动以“面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康”为核心宗旨，通过建设打造一个高水平的技术交流平台，促进科技创新资源的协同配置，并进一步强化上海工研院作为公共服务平台的科技创新策源功能，加快推进产业技术创新应用和成果转化，从而引领“超越摩尔”产业向中高端迈进，实现产业的高质量发展。

本次论坛采取线上线下相结合，除主题演讲外，还设有MEMS技术、硅光技术、生命信息技术和投资孵化路演四个分论坛活动。会议邀请了中国科学院院士祝世宁教授、中国科学院院士褚君浩教授、中国工程院院士吴汉明教授、欧洲科学院及比利时皇家学院双料院士Johan Hofkens教授、加拿大皇家科学院及工程院两院院士Andreas Mandelis教授、法国国家医学科学院外籍通讯院士及上海交通大学医学院沈柏用教授、教育部长江学者及上海交通大学物理与天文学院金贤敏教授、德国弗劳恩霍夫光电微系统研究所（Fraunhofer IPMS）副所长Jörg Amelung先生、国际传感器行业协会（全球董事）及万物云首席科学家丁险峰先生以及来自博世、TDK、广东增芯、赛微电子、豫信电科、联合微电子、矽睿科技等一众行业重点企业的高管、地区负责人及技术专家和来自长三角国创中心、粤港澳大湾区国创中心、国家智能传感器创新中心、国家信息光电子创新中心、中国电子信息产业发展研究院等机构的负责人、高管、技术专家以及中国半导体行业协会副理事长及上海市集成电路行业协会秘书长郭奕武先生、SEMI中国高级总监张文达先生、全国微机电技术标准化技术委员会李根梓秘书长等众多产业界企业、平台、机构的负责人和技术专家以及来自上海市科委、广东省工信厅、嘉定区经委、嘉定区科委、嘉定区国资委以及嘉定菊园新区的领导共计700余人，与其他26000余名线上产业界人士共同谋划“超越摩尔”集成电路产业的升级与深化发展的长久之道。

上海市科委副主任王晔先生、中国科学院院士祝世宁教授及菊园新区党工委书记陈懿先生为本次活动致辞。

上海市科委副主任王晔先生致辞

王晔副主任介绍了上海工研院作为上海市首家研发与转化功能型平台的建设背景，以及首批15家平台的落地对上海市科创中心建设所起到的基石作用，并寄语上海工研院未来继续瞄准世界科技前沿技术，引领产业科技发展方向，肩负起历史赋予平台的重任，勇做新时代科技创新的排头兵。

中国科学院院士祝世宁教授致辞

祝世宁院士作为产业专家，回顾了他与上海工研院在硅光平台建设过程中的渊源及双方共同创立光电子集成芯片立强论坛的种种情景，期待在未来的发展中可以与平台在光电子领域有更多的合作与交流，双方共同推动中国光电子技术的发展，为产业的提升作出更大的贡献。

嘉定区菊园新区党工委书记陈懿先生致辞

嘉定区菊园新区党工委书记陈懿先生代表地方对本次活动的顺利举办表示了祝贺，并代表菊园科技创新论坛的主办单位对与会嘉宾的到来表示了欢迎，同时对于上海工研院落地菊园十载为当地“超越摩尔”集成电路产业发展所带来的积极作用表示了感谢，并强调在未来的日子里菊园新区要进一步加强对产业、平台的服务，推动创新链产业链资金链人才链深度融合，全面推动地区产业发展。

上海工研院董事长谢晓明研究员致欢迎辞

在各位嘉宾致辞完毕后，由中国科学院上海微系统所所长、上海工研院董事长谢晓明研究员代表本次论坛的主办方向各位与会领导、专家以及产业界人士致欢迎辞。谢董事长首先感谢前来参加本次活动的参会嘉宾，随后回顾了上海工研院响应上海市集成电路产业发展需求，探索信息领域创新机制、奠定上海研发与转化功能型平台运行模式的十年发展历程。他还表示未来上海工研院将继续探索“超越摩尔”技术研发与转化以及产业生态建设路径，充分发挥衔接科研和产业以及产业技术策源地功能，为相关企业提供高水平的技术供给和高质量的技术服务。

随后大会启动了成果发布仪式，由上海工研院发布了“MEMS标准工艺模块”以及“90nm硅光集成工艺”两项“超越摩尔”技术成果。两项成果均来自于上海工研院承担的国家及市级重大专项所取得的阶段性成果，可为中小企业提供MEMS制造和硅光子器件的标准化工艺，大幅提高产品设计效率，其中硅光集成工艺器件库更是达到国际领先水平。

“超越摩尔”成果发布仪式

成果发布仪式后，上海工研院与摩仑科技、上海汽车芯片工程中心、联影微电子、国家信息光电子中心、浙江大学微纳电子学院、上海精测、增芯科技、利扬芯片、炜盛科技及大立科技等“超越摩尔”集成电路生态圈战略合作伙伴代表签订战略合作协议，旨在打通长三角与粤港澳大湾区以及中部地区产业区域限制，实现从设备、芯片生产、设计到封装测试的全产业链布局，助力上海“超越摩尔”集成电路产业高质量发展。

“超越摩尔”集成电路生态圈战略合作伙伴代表签约仪式

活动过后，上海工研院总经理董业民博士作了《建设具有全球影响力的“超越摩尔”功能型创新平台》的主题报告。报告回顾了上海工研院十年以来发展的芯路历程以及取得的一些成绩，在未来的发展过程中，上海工研院将继续围绕上海集成电路一体两翼战略，聚焦“超越摩尔”芯片制造核心技术及产业孵化，打造一个具有全球影响力的“超越摩尔”集成电路产业生态。

上海工研院董业民博士发言

欧洲科学院/比利时皇家科学与艺术学院双料院士及比利时鲁汶大学化学系终身教授Johan Hofkens教授分享了《The Power of One: From Single Molecule Investigations to Materials Research and Beyond》的主题报告，报告探讨了单分子光谱学对应用该技术的各个领域都产生的巨大影响，从催化、等离子体学、聚合物物理学、生物物理学到细胞生物学和 DNA 测序。此外，报告中还分享了单分子技术和新显微镜模式的开发如何推动材料科学和生物科学的发展。

比利时鲁汶大学Johan Hofkens教授发言

来自中国电子信息产业发展研究院集成电路所所长周峰先生随后分享了《智能传感器及硅光技术行业趋势》的主题报告，报告详细阐述了国内外智能传感器的分类、技术路线以及行业发展趋势，其中重点介绍了硅光技术在智能传感器领域的应用和未来发展趋势。

来自TDK-InvenSense副总裁张宏达博士带来了《Enriching Lives with Sensing Solutions——运用传感解决方案丰富生活》的主题演讲，报告介绍了TDK MEMS传感器的工作原理和产品特点，特别介绍了TDK-InvenSense 专有的 CMOS-MEMS 片上系统平台在传感器制造中的优势。

来自德国弗劳恩霍夫光电微系统研究所（Fraunhofer IPMS）的Jörg Amelung先生以及Sandro Koch博士分享了《From Concept to Production: Unleashing the Potential of MEMS-based Ultrasound》的主题报告。报告介绍了MEMS器件的进步和特定技术发展的关系，以及弗劳恩霍夫光电微系统研究所开发的基于MEMS的微机械超声换能器（MUT）所独有的特性技术等创新应用案例。

主论坛最后举行了第五届菊园科技创新论坛轮值主席交接仪式。第四届论坛主办单位中国科学院上海微系统所代表俞文杰副所长与下一届主办单位中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所代表党委副书记高妍琦先生完成了论坛轮值主席的交接仪式，顺利完成了主论坛活动。

菊园科技创新论坛轮值主席交接仪式

各分论坛环节

下午MEMS技术、硅光技术、生命信息技术分论坛和投资孵化路演活动同时开展，各论坛集聚了包括吴汉明院士、褚君浩院士、祝世宁院士、沈柏用院士、Andreas Mandelis院士、Robert Pan博士，李昕欣研究员（国家杰青）、金贤敏教授（长江学者）以及来自华为、华进半导体、华大科技、安靠封装、大立科技、博世、联影微电子、药明生物、国家信息光电子中心和上海工研院的二十余位专家为大家带来了主题报告、圆桌论坛等技术分享活动。投资孵化路演活动现场集聚了十五家创新科技企业的创新项目和近百位投资人，为创新企业的发展带来了机遇。

本次上海国际微技术研究与创新论坛活动依托上海工研院平台优势，进一步畅通了“超越摩尔”产业链上下游企业的沟通渠道，协同推动产业技术的创新应用和成果转化，为中小企业的孵化、培育和发展提供了更好的创新服务。同时扩大了上海打造集成电路“一体两翼”空间布局影响力，将吸引更多全产业链企业落户上海，加快构筑上海集成电路产业新高地。

审核编辑 黄宇