上海微电子装备(集团)股份有限公司11月28日公开了本公司最新的***相关专利。据天眼查显示,上海微电子公开的专利名称为“投影物镜光学系统及***”,申请号为cn117130226a。
该专利摘要显示,本发明提供了一种投影物镜光学系统及***,所述投影物镜光学系统沿其光轴方向从物面到像面依次包括:第一透镜组、第二透镜组、光阑、第三透镜组与第四透镜组。其中所述第三透镜组与所述第二透镜组关于所述光阑对称,所述第四透镜组与所述第一透镜组关于所述光阑对称,所述投影物镜光学系统是对称结构,且所述投影物镜光学系统中所有的透镜组均具有正光焦度,以此可以在提高成像质量的基础上,可以增加曝光系统的场地大小,提高生产效率。
上海微电子装备(集团)股份有限公司成立于2002年3月,由于法定代表人干频,经营范围包括含有半导体设备等的开发、设计、制造、销售及技术服务等是上海电气控股集团有限公司(42.3%)、上海科技创业投资有限公司(14.21%)等共同投资股份。
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