上海微电子“投影物镜光学系统及***”专利公布
上海微电子装备（集团）股份有限公司11月28日公开了本公司最新的***相关专利。据天眼查显示，上海微电子公开的专利名称为“投影物镜光学系统及***”，申请号为cn117130226a。
该专利摘要显示，本发明提供了一种投影物镜光学系统及***，所述投影物镜光学系统沿其光轴方向从物面到像面依次包括：第一透镜组、第二透镜组、光阑、第三透镜组与第四透镜组。其中所述第三透镜组与所述第二透镜组关于所述光阑对称，所述第四透镜组与所述第一透镜组关于所述光阑对称，所述投影物镜光学系统是对称结构，且所述投影物镜光学系统中所有的透镜组均具有正光焦度，以此可以在提高成像质量的基础上，可以增加曝光系统的场地大小，提高生产效率。
上海微电子装备（集团）股份有限公司成立于2002年3月，由于法定代表人干频，经营范围包括含有半导体设备等的开发、设计、制造、销售及技术服务等是上海电气控股集团有限公司（42.3%）、上海科技创业投资有限公司（14.21%）等共同投资股份。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
透镜
+关注
关注
0文章
67浏览量
18448 -
光学系统
+关注
关注
5文章
266浏览量
19116 -
光刻机
+关注
关注
31文章
1201浏览量
49012
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
OCAD应用：利用OCAD进行一般光学系统的设计
距离（Lo）”， 再根据提示输入系统角放大率值，程序会自动求解并输入显微物镜的物距值。
图15.根据放大倍率求解显微物镜物距参数
②方案草图的调整与修改
既然是方案草图只是光学系统结
发表于 04-23 08:19
[VirtualLab] 天文光学系统分析
光学领域的潜力，本次我们重点介绍了以下两个案例：第一个是著名的施密特-卡塞格林望远镜的完整模型，包括对施密特板效应的讨论。在第二个案例中，我们根据L.Clermont等人的工作“用于自适应光学系统
发表于 04-21 08:24
VirtualLab：光学系统的三维可视化
**摘要
**
为了对光学系统的性质有一个基本的了解，对其组件的可视化和光传播的提示是非常有帮助的。为此，VirtualLab Fusion提供了一个工具来显示光学系统的三维视图。这些工具可以进一步
发表于 04-13 09:04
OCAD应用：打入式断续变焦光学系统初始结构设计
棱镜的一前一后排列也可以。
A) 会聚光路中打入型变焦系统设计
打入式断续变焦光学系统的固定组就是一般定焦系统的物镜，需要独立矫正像差。活动组一般由正负两组透镜组成。在变焦过程中一般遵
发表于 04-10 08:18
基于干涉的光学测试系统
经典斐索干涉仪的辐照度图案。
用于微结构晶片检测的光学系统
该用例显示了高NA晶片检测系统的快速物理光学模拟，该系统通常用于半导体工业中检测晶片上的缺陷。
发表于 04-08 08:42
[VirtualLab] 用于微结构晶片检测的光学系统
堆栈可以导入到各种不同的组件中，具体取决于预期用途。在这种情况下，我们将堆栈加载到一般光学设置中的一个光栅组件中，以便模拟整个系统。有关详细信息，请参阅：用于通用光学系统的光栅元件
**微结构晶片
发表于 04-07 08:23
OCAD应用：单反射镜扫描光学系统初始结构设计
图1.带有端部反射镜及保护玻璃的单反射镜扫描系统示意图
单反射镜扫描光学系统往往多设在光学系统端部用以扫描物方视场，故有常称端部反射镜。由于具有单次反射面的反射棱镜也具有反射镜的功能，也经常
发表于 04-03 08:45
LED 太阳光模拟器的光学系统设计解析
LED太阳光模拟器的光学系统设计需通过“光源系统-聚光镜-光学积分器-准直反射镜”的处理，通过多部件协作模拟太阳辐照，平衡准直性、均匀性与光谱匹配性。光源系统用特定准直透镜将发散角降至
VirtualLab：光学系统的三维可视化
摘要
为了对光学系统的性质有一个基本的了解，对其组件的可视化和光传播的提示是非常有帮助的。为此，VirtualLab Fusion提供了一个工具来显示光学系统的三维视图。这些工具可以进一步用于检查
发表于 05-30 08:45
VirtualLab：用于微结构晶片检测的光学系统
各种不同的组件中，具体取决于预期用途。在这种情况下，我们将堆栈加载到一般光学设置中的一个光栅组件中，以便模拟整个系统。有关详细信息，请参阅：用于通用光学系统的光栅元件
微结构晶片的角度响应
该光栅组件
发表于 05-28 08:45
OCAD应用：单反射镜扫描光学系统初始结构设计
图1.带有端部反射镜及保护玻璃的单反射镜扫描系统示意图
单反射镜扫描光学系统往往多设在光学系统端部用以扫描物方视场，故有常称端部反射镜。由于具有单次反射面的反射棱镜也具有反射镜的功能，也经常
发表于 05-27 08:44
OCAD应用：利用OCAD进行一般光学系统的设计
距离（Lo）”， 再根据提示输入系统角放大率值，程序会自动求解并输入显微物镜的物距值。
图15.根据放大倍率求解显微物镜物距参数
②方案草图的调整与修改
既然是方案草图只是光学系统结
发表于 05-23 08:51
PanDao：光学制造链设计
制造成本上大约是球面系统的1.7倍，但球面系统在材料成本上却高出约4倍。因此，总体结论是采用非球面解决方案，其成本仅为球面物镜的一半左右。
图5.展示了两个光学系统，一个双球面
发表于 05-12 08:51
PanDao：光学设计中的制造风险管理
（OFT）组合的策略。
2.光学系统的产生和分类
人类一直将光作为一种工具，用于解决日常生活中的一些挑战，如探测、照明与信息传输。而要将光作为工具应用，则需依赖光学系统。因此，光学系统（例如物
发表于 05-07 09:01
评论