C4F8气体详解

C4F8气体在半导体制程中同样占据了十分重要的地位，那么C4F8有哪些重要的应用呢？

C4F8的分子结构？

细心的朋友会发现，我们在介绍气体或化学品时，总是会先介绍他们的化学式，分子结构，化学键，极性等，有人认为多此一举，但是我认为这些内在的结构往往导致了其物化性质的多样性。我们不仅要知其表象，更要知其本质，这样在复杂的半导体工艺制程中我们才能从变化纷繁的表象中找到其根因，因此在学习基础知识时，一定不要嫌麻烦，需要夯实基础。

C4F8,八氟环丁烷,也可以被称为全氟环丁烷，由四个碳原子和八个氟原子组成，每个碳原子上都连接着两个F原子，构成了一个完全氟化的环状结构。

什么叫烷？

“烷”这个词取自于烷烃，表明化合物中的碳原子之间仅仅由单键相连。烷烃是有机化学中的基本结构单元，它们可以是直链结构，也可以是环状结构。

为什么叫全氟？

环状烷烃的化学通式为：CnH2n。也就是说每个碳可以连接2个氢原子，而4个碳可以连接8个氢原子。如果这8个氢原子都被F原子取代，我们就叫全氟，如果都被氯原子取代，就叫全氯。

为什么叫环丁烷？

烷烃根据其C原子数量不同，按照十天干：甲、乙、丙、丁、戊、己、庚、辛、壬、癸来进行命名,分别代表1-10个C原子。例如CH4代表甲烷，C2H6代表乙烷等等。环，则表示其具有环状结构。如果是直链结构，则不用带“环“。

C4F8的物化性质？

状态：常温常压下为气态，无色，无味

沸点：-5.85°C

熔点：-45.6°C

密度：9.52 kg/m³，远远大于空气的密度，1.29 kg/m³

溶解性：基本不溶于水，但可溶于某些有机溶剂。

稳定性：非常稳定，化学惰性强，耐高温

电绝缘性：具有很高的电绝缘性

C4F8的应用？

干法刻蚀：在bosch工艺中，C4F8作为一种保护气，对硅深孔的侧壁进行保护，这样能大大提高硅刻蚀的各项异性。当然，C4F8也可以作为刻蚀气体来使用，它适用于蚀刻氧化硅、氮化硅和其他低介电常数材料。通常与其他气体如氩（Ar）、氧气（O2）或氮（N2）混合使用以调整蚀刻过程。

制冷剂：尤其是在需要避免潜在腐蚀的高端应用中，可以作为制冷剂使用。

灭火剂：在需要无水灭火的地方，C4F8可以作为灭火剂使用，特别是在电子精密仪器的灭火系统中。