凌华科技2D补偿功能在探针台上有哪些应用

应用背景

探针台是半导体行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、 高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

半导体测试可以按生产流程可以分为三类：验证测试、晶圆测试测试、封装检测。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。

除探针台外，晶圆检测环节还需要使用测试仪/机，测试仪/机用于检测芯片功能和性能，探针台实现被测芯片与测试机的连接，通过探针台和测试机的配合使用，可以对晶圆上的晶粒进行功能和电参数测试或射频测试，可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。

由于晶粒的尺寸越来越小，对测试的精确度要求也越来越高。但由于机构在组装时，会产生组装上的误差，这些组装上的误差可能来自于摇摆角的误差、俯仰角的误差或滚动角的误差，应为这些误差的存在，会使机台整体的精度下降，所以2D补偿功能也是为了解决这样的问题而开发的。

2D补偿功能应用的函数：

1） 设置2D补偿表，

APS_set_2d_compensation_table

Syntax：

C/C++：

I32 APS_set_2d_compensation_table(I32 *AxisIdArray, U32 CompType, U32 *TotalPointArray, F64 *StartPosArray, F64 *IntervalArray, F64 *CompDataArrayX, F64 *CompDataArrayY)

Visual Basic：

APS_set_2d_compensation_table (ByVal AxisIdArray() As Integer, ByVal CompType As Uinteger, ByVal TotalPointArray() As Uinteger, ByVal StartPosArray() As Double, ByVal IntervalArray() As Double, ByVal CompDataArrayX() As Double, ByRef CompDataArrayY() As Double) As Integer

2）读取2D补偿表

APS_get_2d_compensation_table

Syntax：

C/C++： I32 APS_get_2d_compensation_table(I32 *AxisIdArray, U32 *CompType, U32 *TotalPointArray, F64 *StartPosArray, F64 *IntervalArray, F64 *CompDataArrayX, F64 *CompDataArrayY)

Visual Basic： APS_get_2d_compensation_table (ByVal AxisIdArray() As Integer, ByRef CompType As Uinteger, ByVal TotalPointArray() As Uinteger, ByVal StartPosArray() As Double, ByVal IntervalArray() As Double, ByVal CompDataArrayX() As Double, ByRef CompDataArrayY() As Double) As Integer

3）启动2D补偿功能

APS_start_2d_compensation

Syntax：

C/C++：I32 APS_start_2d_compensation( I32 Axis_ID, I32 Enable )

Visual Basic： APS_start_2d_compensation (ByVal Axis_ID As Integer, ByVal Enable As Integer) As Integer

4）线性2D补偿功能

APS_absolute_linear_move_2d_compensation

Syntax：

C/C++： I32 APS_absolute_linear_move_2d_compensation( I32 *Axis_ID_Array, F64 *Position_Array, F64 Max_Linear_Speed )

Visual Basic：APS_absolute_linear_move_2d_compensation (ByVal Axis_ID_Array() As Integer, ByVal Position_Array() As Double, ByVal Max_Linear_Speed As Double) As Integer

5）读取2D补偿命令位置

APS_get_2d_compensation_command_position

Syntax：

C/C++：I32 APS_get_2d_compensation_command_position( I32 Axis_ID, F64 *CommandX, F64 *CommandY, F64 *PositionX, F64 *PositionY )

Visual Basic： APS_get_2d_compensation_command_position (ByVal Axis_ID As Integer, ByRef CommandX As Double, ByRef CommandY As Double, ByRef PositionX As Double, ByRef PositionY As Double) As Intege

调试界面如下，

2D补偿功能支持的运动控制卡类型

目前凌华支持2D补偿功能的运动控制卡类型包括：脉冲控制卡AMP-204C/208C，EtherCAT总线型运动控制卡PCIe-833x系列，以下是相关产品的介绍

AMP-204C/208C脉冲运动控制卡介绍

AMP-204C/AMP-208C 是凌华科技开发的基于 DSP 的 高级运动控制卡。不仅支持 4/8 轴脉冲型信号命令，而且还提供开环电路控制选项，并支持多个不同伺服驱动器的位置命令。AMP-204C/AMP-208C 通过高速 PCI 总线与操作系统交换数据，包括运动控制命令、反馈数据、参数等。配合凌华科技独家 Softmove 内核，该系统提供多种移动控制功能，包括 T/S速度剖面规划、点 对点移动、多维插补和主/从运动等。

AMP-204C/208C产品特性

• 任意2~6轴直线插补

• 任意3轴圆弧插补

• 任意3轴螺旋插补（含螺线插补）

• 多轴同步运动，包含：龙门架模式和电子齿轮等

• 点表功能可用于多线程应用

• 速度规划和点表函数支持多线程应用程序

• 梯形和S型速度曲线，用户自定义速度配置

• 运动中可在任意时刻改变目标位置和速度

• 背隙补偿等

PCIe-833x EtherCAT运动控制卡介绍

凌华科技PCIe-833x是一款基于硬件的EtherCAT运动控制卡，能够同时支持多达64个同步轴和超过10,000 个I/O 点。PCIe-833x具有专用的隔离紧急停止输入(EMG) 和可配置的隔离高速数字输入，不仅具有通用传感器输入，而且具有高达1MHz 输入频率的脉冲输入。

在250μs 的最小通讯周期内提供最佳的抖动控制，优化半导体、电子制造等自动化应用领域的同步I/O 性能。

PCIe-833x产品特性：

• 通过EtherCAT 可实现多达64 轴的运动控制和10,000 个I/O 点控制

• EtherCAT 控制周期高达250μs

• 兼容大多数EtherCAT从站

• 专用的紧急停止输入

• 板卡自带4通道隔离数字输入/4通道隔离数字输出

• 单通道脉冲输入

• 针对轨迹应用的点表功能

• 支持最高达16D直线插补，3D圆弧插补和3D螺旋插补

• 对于独立的应用，提供8个程序可下载功能

• 支持从站ID设置

凌华科技运动控制解决方案

凌华科技是边缘计算解决方案的全球领导厂商，解决方案包括加固级模块与系统、实时数据采集解决方案，以及实现人工智能+物联网(AIoT)的应用等。凌华科技是Intel Internet of Things Solutions Alliance优选会员(Premier Member)，NVIDIA全球伙伴，并积极参与多项国际技术标准，包括Open Compute Project (OCP)、Object Management Group (OMG)和ROS 2技术指导委员会(Technical Steering Committee; TSC)。

审核编辑：刘清