至纯科技：湿法清洗设备已在14及7纳米制程实现交付，可实现国产替代

近日，至纯科技机关接受的调研时，公司的湿式清扫设备28纳米，几乎可以覆盖整个工程的过程，有反复订购，14纳米和7纳米制造工艺也多台订单，被顾客传达，公司是湿式清扫领域国产大再能实现。”

据介绍，单晶硫酸设备是湿式工程设备中难度最高的工程机械。至纯科技s300 spm机器已交付许多国内主流晶片工厂，并已应用于国内头客户的12英寸logic大量生产线。月产量最高可达6万片。单一设备在大量生产线上的累计产量已超过20万个，是高层湿式工程设备国产替代进口的重要里程碑。据至纯科技，目前公司是国内唯一一家单晶硫酸设备达到上述单晶量产指标的制造企业。

同时，zemu表示，公司湿式设备逐步扩展成熟工艺的产品线，部分逻辑用户和第三代半导体用户的生产线渗透率持续提高。在获得订单的时间和用户扩展生产的时间可能会产生影响，但高温硫酸、finetch、单片磷酸等国际制造企业在机械垄断、公司供货及检验方面仍领先于国内。

至纯科技同时从系统集成扩展到收益性更强的材料。至纯科技于2022年初建成了国内第一家电子级大宗天然气供应工厂。目前已经稳定运营了1年多，每年都为稳定的收入做出贡献。这是国内首家完全自主建设的onsite大宗气供应工厂。公司将继续在电子气电子化学产品领域扩大事业和品种，并增加对电子材料领域的投资。