太阳能作为应用广、无排放、无噪声的环保能源,在近些年迎来快速发展,而在各类型的太阳能电池及太阳能充电系统中,多会镀一层透明的ITO导电薄膜,其镀膜厚度对电池片的导电性能有着非常重要的影响,因而需要对镀膜厚度进行检测与管控。
由于ITO膜具有一定的透光性,而硅基板具有较强的反射率,会对依赖反射光信号进行图像重建的光学轮廓仪造成信号干扰导致ITO膜厚图像重建失真,因此考虑采用接触式轮廓仪对ITO膜厚进行测量,由于其厚度范围从十几纳米到几百纳米,考虑到测量的同时不损伤样件本身,因而采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪最为合适。
台阶仪是干什么的?在太阳能光伏行业能测什么?
台阶仪是一种常用的膜厚测量仪器,它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。
CP200台阶仪CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。



针对测量ITO导电薄膜的应用场景,CP200台阶仪提供如下便捷功能:
1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;
2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;
3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;
-
薄膜
+关注
关注
1文章
380浏览量
46280 -
测量仪
+关注
关注
1文章
740浏览量
41734 -
表面轮廓仪
+关注
关注
0文章
81浏览量
1277
发布评论请先 登录
台阶仪在有机薄膜晶体管应用:60 nm有源层等效厚度精确测量全流程
台阶仪在Mo₂C薄膜测量中的应用 | 粗糙化比率>1的薄膜材料
台阶仪vs.白光干涉:薄膜厚度测量技术选型指南
台阶仪在平板显示的应用:银导电薄膜的厚度与粗糙度检测与优化
探究薄膜射频/微波定向耦合器 CP0603 SMD 类型
晶圆多层膜的阶高标准:实现20–500nm无金属、亚纳米级台阶精度
薄膜测厚选CWL法还是触针法?针对不同厚度与材质的台阶仪技术选型指南
台阶仪精准测量薄膜工艺中的膜厚:制备薄膜理想台阶提高膜厚测量的准确性
薄膜测厚选台阶仪还是椭偏仪?针对不同厚度范围提供技术选型指南
台阶仪测量膜厚的方法改进:通过提高膜厚测量准确性优化镀膜工艺
测量ITO导电薄膜,CP200台阶仪了解一下?
评论