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由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有较强的反射率，会对依赖反射光信号进行图像重建的光学轮廓仪造成信号干扰导致ITO膜厚图像重建失真，因此考虑采用接触式轮廓仪对ITO膜厚进行测量，由于其厚度范围从十几纳米到几百纳米，考虑到测量的同时不损伤样件本身，因而采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪最为合适。
台阶仪是一种常用的膜厚测量仪器，它是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。
CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。
针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：
1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；
2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；
3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；
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