XD106.XYZ60K超低温真空无磁压电扫描台

随着科学技术的深入研究，在低温真空强磁的环境下提供纳米级精密定位的应用在物理学、化学和材料学等领域应用越来越多，而低温真空无磁压电运动平台是一种高精度精密定位设备，主要特点是高精度、高稳定性和高可靠性，可在低温、真空及磁场等情况下提供精密定位，在半导体加工、检测等方面广泛应用。

由芯明天研发生产的XD106.XYZ60K压电扫描台是一款三维运动压电平台，它是专为超低温、真空及无磁环境应用而设计，可进行XYZ三维扫描运动，采用低温压电驱动，耐低温可达4K，它的体积小巧，尺寸仅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外壳采用轻型耐低温、无磁材料，采用低温双绞线，以适应低温环境下的使用。

产品特点

低温真空无磁，耐低温可达4K

XYZ三维运动

4K温度下位移达30μm/轴

分辨率可达2nm

开环运动控制

响应速度快

产品应用

半导体加工

半导体检测

高精密测试和操作

其他真空无磁要求的纳米运动控制等

技术参数

推荐控制器

芯明天设计生产多款压电控制器，如模块化、小体积型、大功率、工业式、集成式等。可根据不同应用场景选择合适的压电控制器。

E00/E01系列压电控制器

E00/E01系列压电控制器是模块化式压电控制器，模块化，可自由选择伺服模块、上位机通信模块。驱动XD106.XYZ60K三维压电扫描台，选用E01.A3或E01.C3都可，后者增加了上位机通信功能。

E70.C3系列压电控制器

E70系列压电控制器是一款集成式压电控制器，它的外形尺寸紧凑很多，具有三个输出通道，可进行上位机通信控制和模拟控制，非常适于驱动XD106.XYZ60K三维压电扫描台。

审核编辑 黄宇