【芯闻时译】显微扫描仪大显神通

来源：《半导体芯科技》编译

微型扫描仪体积小、重量轻、能效高，是移动场景应用的理想选择。Fraunhofer IPMS已开发出200多种不同的微型扫描仪，以满足客户的特定要求。服务范围涵盖整个价值链，从设计和原型开发到在自己的无尘室进行8英寸晶圆试生产。Fraunhofer IPMS不断扩大扫描镜技术的应用范围，提供新颖的专利设计方案和技术模块，并集成人工智能。

△微型扫描仪在医疗技术中潜力巨大

微型扫描仪是一种微小的光学元件，可以使微小的镜面绕一个或多个轴线偏转，从而实现非常快速和精确的扫描或投影。其非接触式操作、体积小、重量轻、能效高，为医疗技术开辟了新的可能性。微型扫描仪的医疗应用包括医用内窥镜、共聚焦显微镜、荧光显微镜、光谱仪和眼科的图像采集。

Fraunhofer IPMS的微型扫描仪具有扫描角度大、扫描频率高以及长期稳定性好的特点。该研究所的服务还包括支持客户开发用于可控高精度驱动的特定模块设置和电子解决方案。特别是对于中小型企业来说，Fraunhofer研究所提供的各种评估套件使他们有可能将微型扫描仪技术集成到其产品开发中，而无需耗费大量时间和成本在内部开发符合规范的控制电子设备。

Fraunhofer IPMS 微型扫描仪在医疗技术中的应用

近年来，Fraunhofer IPMS已经能够对其先前为客户开发的微型扫描仪进行验证，以便将其集成到客户的产品中。因此，这些设备在实际应用中证明了它们的价值。

例如，几年前，Fraunhofer IPMS开发了双谐振MEMS扫描仪，构成了数字化牙科用紧凑型X射线胶片扫描仪的核心。这些微型扫描仪在公司内部的无尘室中通过了客户产品认证，作为试生产的一部分，年产量可达数千台。在专门开发的集成电子元件载体上进行组装以及随后的测试也在Fraunhofer IPMS进行。研究所的ISO 9001认证保证了Fraunhofer IPMS的质量符合工业标准。

Fraunhofer IPMS医疗技术的其他应用还包括为Norlase公司开发激光扫描仪，用于眼科治疗视网膜和青光眼患者。通过使用Fraunhofer IPMS的MEMS扫描仪，系统实现了前所未有的小型化和高分辨率。

该研究所正在为新成立的Envision Diagnostics公司开发用于标准化、快速和可靠的眼科检查的微型扫描仪，该检查可记录、评估和显示所有质量参数。这将为医生提供更全面、更可靠的患者数据，使他们能够做出更安全的决策。

Fraunhofer IPMS显微扫描镜在显微镜中的应用

显微扫描镜在医学显微镜中也有很多应用。借助光学相干断层扫描技术，可以对物体的表面和深度结构进行分析，分辨率可达微米级。Fraunhofer IPMS公司生产的微扫描镜能够记录一种新型的环境参数，用于肿瘤轮廓的新型激光扫描显微镜的核心部件。这使得癌症手术更快、更精确、更安全。在手术室中，外科医生可以使用显微镜检查刚刚切除肿瘤的组织。事先涂抹的荧光标记使切口后残留的癌细胞清晰可见。这样就可以完全、精确地切除这些癌细胞。由于显微镜能准确显示健康组织的起始位置，因此周围组织不会受到影响。而且无需等待实验室结果。

ZEISS公司的ZEISS Lattice Lightsheet 7被德国总统授予2022年德国未来奖，它也使用了 Fraunhofer IPMS的微型扫描仪技术。用于对活细胞进行平滑3D成像的显微镜系统使用了该研究所开发的光偏转立方体（LDC）扫描仪模块。该模块已通过认证，并作为当前产品试产的一部分提供给客户ZEISS公司。

审核编辑 黄宇