共聚焦显微测量的原理及方法

共聚焦显微镜是激光共聚焦扫描显微镜LCSM的简称，它显微成像主要采用3D捕获的成像技术，使其具有较高的三维图像分辨率。这些都是通过构建显微照片来实现的。

共聚焦显微镜成像原理
共焦显微镜装置是在被测对象焦平面的共轭面上放置两个小孔，其中一个放在光源前面，另一个放在探测器前面，如图所示。

共焦显微镜光路示意图

得到的图像是来自一个焦平面的光通过针孔数码相机聚焦拍摄，通过所累积的不同焦平面的图像序列，使用软件编译完整的 3d 图像。

共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。在相同物镜放大的条件下，共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。如同为微纳检测的利器，共聚焦显微镜却是与白光干涉仪有着诸多不同，如果用一个字眼来形容，那么白光干涉仪是“文”，而共聚焦显微镜是“武”。白光擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的精准；而共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊一筹，但能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

VT6000系列共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等，能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。