SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

测量技术特点:
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。
举报投诉
-
激光干涉仪
+关注
关注
0文章
85浏览量
8804
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
激光共聚焦显微镜VS白光干涉仪表面轮廓测量中的对比
和真实3D成像能力,展现出显著优势。本文结合实际测试数据,对比分析激光共聚焦显微镜与白光干涉仪在PCB表面轮廓测量中的表现,帮助行业工程师优化选型。#Photoni
干涉测量的非序列仿真
Mirau干涉测量法是一种众所周知的技术,它可以以高达所用波长的百分之一的精度测量表面。为了充分研究和设计这样的系统,非顺序仿真方法很有帮助,因为它会自动将系统内部反射产生的
发表于 05-27 08:21
基于干涉的光学测试系统
经典斐索干涉仪的辐照度图案。
用于微结构晶片检测的光学系统
该用例显示了高NA晶片检测系统的快速物理光学模拟,该系统通常用于半导体工业中检测晶片上的缺陷。
光学检测用的斐索干涉仪
借助非连续场追迹技术建立了斐索
发表于 04-08 08:42
[VirtualLab] 使用棱镜分束器的Mach-Zehnder干涉仪互补干涉图样的观测
**摘要
**
分束器是将光束一分为二的重要光学元件,是干涉仪等许多光学实验和测量系统的重要组成部分。作为一个典型的例子,在VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光
发表于 04-03 08:41
激光干涉仪测量案例:医疗CT滑轨运行精度及旋转架定位精度检测
测量需求检查床CT滑轨运行的定位精度、重复精度、直线度,旋转架的旋转精度和旋转定位精度。激光干涉仪测量方案SJ6000激光
发表于 12-24 16:44
•1次下载
D7点衍射激光干涉仪用于测量介观显微物镜的检测方案
,具有重要的研究意义。本文介绍了一种用D7点衍射激光干涉仪测量介观显微物镜的检测方案,具体方案如下图所示:01光源部分1.D7系统的光源为连续波(CW)单模(SL
白光干涉仪与激光干涉仪的区别及应用解析
在精密测量领域,干涉仪作为基于光的干涉原理实现高精度检测的仪器,被广泛应用于工业制造、科研实验等场景。其中,白光干涉仪与激光
激光干涉法在碳化硅衬底 TTV 厚度测量中的精度提升策略
提供理论与技术支持。
引言
随着碳化硅半导体产业的蓬勃发展,对碳化硅衬底质量要求日益严苛,晶圆总厚度变化(TTV)作为关键质量指标,其精确测量至关重要。激光干涉法
扫描白光干涉术在高精度表面测量中的应用
扫描白光干涉术(SWLI)是目前最精确的表面形貌测量技术之一,被广泛应用于工业与科研领域。从发明至今的三十余年间,在精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造领域的需求牵引下,该技术不断取
探索扫描白光干涉术:校准、误差补偿与高精度测量技术
扫描白光干涉术的快速发展,在制造业与科研领域的广泛应用中得到了验证,某种程度上成为了高精度表面形貌测量技术的标杆,尤其在半导体、精密光学、消费电子等产业的牵引下,其测量功能和性能得到持
薄膜厚度高精度测量 | 光学干涉+PPS算法实现PCB/光学镀膜/半导体膜厚高效测量
。本文本文基于FlexFilm单点膜厚仪的光学干涉技术框架,提出一种基于共焦光谱成像与薄膜干涉原理的微型化测量系统,结合相位功率谱(PPS)算法,实现了无需校准的高效
芯片制造中高精度膜厚测量与校准:基于红外干涉技术的新方法
、环境光干扰及薄膜倾斜等因素限制,测量精度难以满足高精度工业需求。为此,本研究提出一种融合红外干涉与激光校准的薄膜厚度测量新方法,旨在突破传统技术
激光干涉仪:解锁协作机器人DD马达的精度密码
当协作机器人需要执行微米级的精密任务时,一个隐形挑战浮出水面:如何确保其核心动力单元DD马达的旋转精度达到角秒级?答案藏在一束激光的干涉条纹之中。解决方案:SJ6000激光干涉仪+角度
激光干涉测量技术的特点是什么?
评论