解决方案 | 应用于半导体设备上的热门传感器（一）

半导体匀胶显影机一般由动力系统、显影液槽及喷液管、水洗槽、挤压 (水)辊、涂胶槽等部分组成，适用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺，制版的表面显影。

本期小明就来分享一下传感器在匀胶显影机中的作用~

检测水滴/胶滴

光纤传感器 PG1+ PT-30ML

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选用区域对射光纤，覆盖面积广，即使水滴路径有微小偏差依然在检测区域内，可被稳定检测

功率大，光轴清晰明亮，可轻松调整光轴位置

放大器搭载了超高速模式，微秒级响应时间，可稳定快速地进行检测

SET按键调试，使用简便轻松

检测晶片位置

激光传感器 ELE-RM05N

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晶圆传送盒的颜色和形状变化所产生的光量值偏差很小，需要选择回归反射型传感器可进行稳定的测量，安装反光板，减少了布线烦恼

光斑小，可将传感器装在外部，穿过孔洞对内部物料进行检测，轻松实现识别晶片倾斜/缺料等位置不正的情况

激光的指向性佳，光斑小，便于安装

控制憎水液位

液位传感器 CE30-26NO

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当槽管内存在气泡时，普通的光学传感器很可能造成误判

产品防护等级IP67，防水防尘

传感器固定方式灵活，可任意轻松移动检测位置

匣盒载物台的下限检测

接近传感器 ESL-T50NO

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超薄尺寸，厚度仅有4mm，任意狭小空间均可安装

采用对射检测原理，稳定可靠

检测距离达50cm，任意大小的设备场景均可使用

明治传感器是一家专注于工业级光电传感器和深度学习技术的创新企业，主要聚焦在高精度定位、深度学习、精密测量、以及避障安全方案，为3C电子、新能源、半导体制程、医疗电子和服务机器人行业提供精密智能和AI传感技术。

明治传感器核心团队汇聚了一批业界资深科学家和工程师，由扎根工业传感领域20年的专家带队，拥有核心专利超过120项，超过20项发明专利。明治产品迭代速度快，每年在世界各地安装的传感器总数逾6,000,000只，在AI4.0时代用创新传感技术向用户提供精密智能和AI传感的产品，助力全球用户在工业4.0时代成为智慧工业和万物互联的行业领先者。