10.9.6 三维集成电路测试∈《集成电路产业全书》
3D IC Testing
审稿人：北京大学 冯建华
审稿人：北京大学 张兴 蔡一茂
https://www.pku.edu.cn
10.9先进表征技术与测试技术
第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展
《集成电路产业全书》下册
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