众所周知,静电是无处不在,无时不刻都在发生的,上一秒消除下一秒它又产生,从生活中的静电到工业静电,皆是如此。而在众多工业领域中,静电对半导体生产制造过程产生的影响额外明显,所以半导体行业对静电的防护要求也比其他行业要高,那么静电对其的危害具体体现在哪些方面呢?
一、MOS结构元器件,由静电过高引起的介质击穿,造成短路
二、半导体结构元器件,由过热引起的微等离子区二次击穿
四、金属化条结构(IC),静电造成与焦耳热有关的开路
五、压电晶体结构元器件,由静电干扰引起机械压力震荡过大,造成晶体断裂
ESD智能实时监控系统,其中的静电压传感器正是发现静电的利器,多种sensor可选。
审核编辑黄宇
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