在半导体行业中工业静电有哪些危害？
众所周知，静电是无处不在，无时不刻都在发生的，上一秒消除下一秒它又产生，从生活中的静电到工业静电，皆是如此。而在众多工业领域中，静电对半导体生产制造过程产生的影响额外明显，所以半导体行业对静电的防护要求也比其他行业要高，那么静电对其的危害具体体现在哪些方面呢？
一、MOS结构元器件，由静电过高引起的介质击穿，造成短路
二、半导体结构元器件，由过热引起的微等离子区二次击穿
四、金属化条结构（IC），静电造成与焦耳热有关的开路
五、压电晶体结构元器件，由静电干扰引起机械压力震荡过大，造成晶体断裂
ESD智能实时监控系统，其中的静电压传感器正是发现静电的利器，多种sensor可选。
审核编辑黄宇
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