纳米位移台在扫描系统中的应用

纳米位移台的工作原理

纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

纳米位移台的典型应用

以纳米运动平台为代表的微操控系统日益成为诸多超精密加工/量测装备等相关高科技产业及交叉学科领域的核心技术。纳米和亚纳米尺度表征/检测和制备方法及高端科学仪器与装备的研发，得到了世界范围的高度关注，也是我国战略层面重点支持的领域之一。扫描探针显微镜（SPM）、可溯源计量型扫描电镜在纳米材料，半导体研究和生物组织的微观检测工作中发挥着重要作用。

纳米位移台在扫描探针显微镜（SPM）中的应用：

带有柔性铰链纳米位移台具有无机械摩擦、具有纳米位移分辨力等优点。柔性铰链位移台利用杠杆放大原理把压电陶瓷堆的小位移放大数倍，实现数十微米以上的移动范围。柔性铰链位移台容易集成位移传感器，这使得在基于柔性铰链位移台的 SPM 系统中较容易实施非线性校正，闭环控制等算法研究。利用纳米位移台搭建了扫描探针显微镜( SPM) 系统，实现了大范围扫描成像功能。

纳米位移台在可溯源计量型扫描电镜中的应用：

基于纳米位移台步进扫描方式的可溯源计量型扫描电镜可直接关联图像扫描与激光干涉仪的位置测量，实现对样品纳米结构扫描成像的量值溯源，有效避免普通扫描电镜放大倍率波动和扫描线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差，从而实现对结构尺寸的溯源测量。

扫描电镜成像原理图

计量型扫描电镜系统

三英精控专业研发生产纳米位移台，还可根据不同需求来进行定制，满足不同应用场合。

审核编辑黄宇