TcWafer：一种专用于晶圆封测设备的热电偶

TcWafer热电偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）

TC WAFER是使用特殊加工工艺将耐高温传感器（即TC）镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。

TC（ThermoCouple）为热电偶的简称，Wafer即晶圆。通过TCWafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况；也可用于持续监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化，比如：升温，降温，恒温过程及延迟时间等！（获得炉温温度的均匀性数据，从而控制良率等）。

·应用场景

1. 半导体制造厂 Fab，硅片厂，晶圆制造厂

2. 封装测试厂

3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate…

4. 半导体设备制造商

5. 高温工艺设备腔体温度的监控

半导体制造厂 Fab，PVD/CVD 部门、RTP 部门等使用

传感器可以定制

高精度多通道数据采集仪
优异的软件功能，方便数据统计、趋势绘图和数据导出

我们的优势

精度高、交期短、服务响应快。

审核编辑黄宇