最权威公布！2022年中国半导体十大革命性进展！3项传感器基础技术入榜！

昨日（1月12日），由《半导体学报》评选的2022年度“中国半导体十大研究进展”评选结果揭晓，记录了我国在半导体基础研究领域的年度标志性成果，是中国半导体学术领域最权威的评选活动之一。

2022年，第三届“中国半导体十大研究进展”评选活动共有55项成果获得候选推荐资格。2023年1月，由248位半导体领域专家组成的评选委员会经过严格评审，评选出10项优秀成果荣膺2022年度“中国半导体十大研究进展”；10项成果荣获2022年度“中国半导体十大研究进展”提名奖。 其中，有拓扑腔面发射激光器、高线性度超宽带5G毫米波相控阵收发前端芯片等多项传感器基础技术进入榜单！将对未来中国三维感知、激光雷达、毫米波雷达等多项传感器技术有革命性作用。此外，多项半导体技术对我国***、半导体器件制造等有重大影响。《半导体学报》是中国科学院主管、中国电子学会和中国科学院半导体研究所主办的学术刊物，1980年创刊，首任主编是王守武院士，黄昆先生撰写了创刊号首篇论文，2009年改为全英文刊Journal of Semiconductors（简称JOS），同年开始与IOPP英国物理学会出版社合作向全球发行。现任主编是中科院副院长、国科大校长李树深院士。2019年，JOS入选“中国科技期刊卓越行动计划”。2020年，JOS被EI收录。

获奖名单

（排名不分先后）

01

拓扑腔面发射激光器

中科院物理研究所陆凌团队将原创的拓扑光腔应用于半导体激光芯片，研制出拓扑腔面发射激光器[topological-cavity surface-emitting laser (TCSEL)]，得到了远超主流商用产品的单模功率和光束质量。TCSEL的发明有望解决拓扑物理应用的长期瓶颈，对于激光技术的整体进步，特别是当下人脸识别、自动驾驶、虚拟现实所需的三维感知和激光雷达等新兴技术有重要意义，详见TCSEL.com。

该成果发表于《自然光子学》杂志(Nature Photonics, 2022, 16: 279-283)。

TCSEL示意图

02

超高热导率半导体-砷化硼载流子迁移率精准测定

国家纳米科学中心刘新风研究员团队联合休斯顿大学包吉明团队和任志锋团队世界上首次精准测定了超高热导率半导体-立方砷化硼（c-BAs）单晶的载流子迁移率；立方砷化硼材料高的载流子迁移速率以及超高的热导率，表明该材料可广泛应用于光电器件、电子元件等领域，为其大规模应用指明了方向。

该成果发表于《科学》杂志(Science, 2022, 377: 433-436)。

瞬态反射显微成像和立方砷化硼的载流子扩散。（A）实验装置示意图，激发波长为600 nm探测波长为800 nm；（B）不同时刻的瞬态反射显微成像（标尺1微米）；（C）典型的载流子动力学；（D）0.5 ps的二维高斯拟合；（E）不同时刻的载流子分布方差随时间的演化及载流子迁移率。

03

电注入激射铝镓氮(AlGaN)紫外激光器

中国科学院半导体研究所赵德刚、杨静研究团队实现了我国首支电注入激射波长小于360 nm的AlGaN紫外激光器。通过结构设计、界面控制及应力调控等方法解决紫外激光器发光效率低、高Al组分AlGaN的p掺杂困难、以及大失配外延等一系列紫外激光器的关键科学和技术问题，为国内紫外固化、***等新型紫外光源的研制提供技术保障。 该成果发表于《半导体学报》杂志(Journal of Semiconductors, 2022, 43, 010501. doi: 10.1088/1674-4926/43/1/010501)。

AlGaN紫外激光器P-I曲线，插图是AlGaN紫外激光器激射谱和激射光斑（蓝色的激射光斑为紫外激光器照射在白色打印纸上产生的蓝色荧光）。

04

首次制成栅极长度最小的晶体管

人类又向摩尔定律的极限发起挑战。这一次中国人扮演了探索者的角色。清华大学任天令教授团队首次制备出亚1纳米栅极长度晶体管，该晶体管具有良好的电学性能。利用石墨烯单原子层厚度作为栅极，通过石墨烯侧向电场调控垂直的MoS2沟道开关，从而实现等效物理栅长为0.34 nm。这项工作将有助于推动摩尔定律进一步发展到亚1纳米。 该成果发表于《自然》杂志（Nature 2022, 603: 259–264）。

05

双层二维半导体大面积外延生长

南京大学王欣然、李涛涛与东南大学王金兰、马亮团队紧密合作，提出了衬底表面台阶高度精确调控二维半导体层数的思想和“齐头并进”的全新生长机制，突破逐层生长的热力学限制，首次实现了厘米级均匀的双层MoS2外延生长，刷新了二维半导体器件开态电流的纪录，并满足2028年国际器件与系统路线图的技术指标。

该成果发表于《自然》杂志（Nature, 2022, 605, 69-75）。

双层MoS2的大面积外延生长

06

具备超高导电率的可溶液加工n型导电聚合物

华南理工大学黄飞教授团队提出了一种n型导电聚合物的合成新策略，利用醌类氧化剂可逆的氧化还原特性，将氧化聚合和还原掺杂结合，大幅提高了有机半导体的n型掺杂效率，实现其由半导体向导体的转变。合成的聚（苯并二呋喃二酮）（PBFDO）具有超过2000 S cm-1的导电率以及良好的空气稳定性，在有机电子器件中展现出广泛的应用前景。

该成果发表于《自然》杂志（Nature, 2022, 611: 271）。

n型导电聚合物聚（苯并二呋喃二酮）的合成机理及其在有机电化学晶体管（a-c）、有机热电（d-e）以及柔性印刷电路（f）中的应用。

07

基于钙钛矿量子线阵列的大面积平面和球形发光二极管

香港科技大学范智勇教授团队开发出了一套崭新的钙钛矿量子线阵列生长工艺，其在大面积的刚性、柔性、平面以及3D衬底上均具有超高均匀性。基于此，团队首次实现了钙钛矿LED器件的晶圆级制备，以及世界首个3D球形LED器件，完美解决了传统平面器件在空间亮度分布上的弊端。其有望成为下一代照明显示材料与器件的有利竞争者。

该成果发表于《自然光子学》杂志（Nature Photonics, 2022,16,284–290）。

钙钛矿量子线阵列的普适性生长

08

基于二维范德华异质结的宽光谱感算一体器件

华中科技大学翟天佑教授、周兴副教授团队与南京大学缪峰教授团队合作创新性地提出了二维双极性范德华异质结，通过电场调控使其光响应正负连续可调，首次在硬件层面实现了宽光谱图像探测和卷积计算的同步进行，突破了传统宽光谱机器视觉系统中感算分离所产生的功耗与时间延迟瓶颈，推动了机器视觉等人工智能领域的发展进程。

该成果发表于《自然电子》杂志（Nature Electronics, 2022, 5: 248-254）。

宽光谱感算一体光电器件

09

基于三维阻变存储器的存算一体技术

中科院微电子研究所刘明院士、张锋研究员团队与北理工王兴华副教授团队在三维存算一体芯片领域取得突破，该团队在国际上首次设计实现了基于三维垂直结构阻变存储器的存算一体宏单元芯片，通过实验证明了三维阻变存储器可以实现存算一体技术并具有低功耗、高算力、高密度等方面的优势，在高性能边缘计算领域有着广阔的发展前景。

该成果发表于《自然电子》杂志（Nature Electronics, 2022, 5: 469-477）。

基于三维垂直结构阻变存储器的存算一体宏单元

10

高线性度、超宽带5G毫米波相控阵收发前端芯片

东南大学赵涤燹，尤肖虎研究团队实现可同时覆盖3GPP n257, n258, n261频段的5G毫米波CMOS相控阵芯片；通过提出宽带线性化技术，有效改善芯片在高功率下的幅度和相位失真，同时抑制芯片在宽带信号下的电学记忆效应，解决了传输超宽带高阶调制信号的难题；芯片成果已成功应用于国产化毫米波分布式微基站以及紫金山实验室6G TKμ极致连接无线传输平台。 该成果发表于《固态电路》期刊（IEEE Journal of Solid-State Circuits, 2022, 57: 2702-2718）。

(a) 5G毫米波四通道相控阵收发系统射频前端芯片系统架构；(b) 芯片显微照片。

提名奖名单

(排名不分先后)

01.微腔光梳驱动的硅基光电子片上系统成果论文：Microcomb-driven silicon photonic systems. Nature, 2022, 605: 457-463 论文作者：Haowen Shu, Lin Chang, Yuansheng Tao, Bitao Shen, Weiqiang Xie, Ming Jin, Andrew Netherton, Zihan Tao, Xuguang Zhang, Ruixuan Chen, Bowen Bai, Jun Qin, Shaohua Yu, Xingjun Wang, John E. Bowers

02.半导体材料激光退火过程中的超快非热熔化理论成果论文：The seeds and homogeneous nucleation of photoinduced nonthermal melting in semiconductors due to self-amplified local dynamic instability. Science Advances, 2022, 8(27): eabn4430 论文作者：Wen-Hao Liu, Jun-Wei Luo, Shu-Shen Li, Lin-Wang Wang

03.III族氮化物宽禁带半导体的高效p型掺杂新途径研究成果论文：Sub-nanometer ultrathin epitaxy of AlGaN and its application in efficient doping. Light Sci Appl , 2022, 11: 71 论文作者：Jiaming Wang, Mingxing Wang, Fujun Xu, Baiyin Liu, Jing Lang, Na Zhang, Xiangning Kang, Zhixin Qin, Xuelin Yang, Xinqiang Wang, Weikun Ge and Bo Shen

04.超越单结器件的世界纪录效率全钙钛矿叠层太阳能电池成果论文：All-perovskite tandem solar cells with improved grain surface passivation. Nature, 2022, 603: 73-78 论文作者：Renxing Lin, Jian Xu, Mingyang Wei, Yurui Wang, Zhengyuan Qin, Zhou Liu, Jinlong Wu, Ke Xiao, Bin Chen, So Min Park, Gang Chen, Harindi R. Atapattu, Kenneth R. Graham, Jun Xu, Jia Zhu, Ludong Li, Chunfeng Zhang, Edward H. Sargent, Hairen Tan

05.基于二维范德华异质结的可重构存算一体架构成果论文：Reconfigurable logic-in-memory architectures based on a two-dimensional van der Waals heterostructure device. Nature Electron, 2022, 5: 752–760 论文作者：Xingxia Sun, Chenguang Zhu, Jiali Yi, Li Xiang, Chao Ma, Huawei Liu, Biyuan Zheng, Yong Liu, Wenxia You, Wujun Zhang, Delang Liang, Qin Shuai, Xiaoli Zhu, Huigao Duan, Lei Liao, Yuan Liu, Dong Li & Anlian Pan

06.具有室温面内反常霍尔效应的异维超晶格结构成果论文：Heterodimensional superlattice with in-plane anomalous Hall effect. Nature, 2022, 609: 46-51 论文作者：Jiadong Zhou, Wenjie Zhang, Yung-Chang Lin, Jin Cao, Yao Zhou, Wei Jiang, Huifang Du, Bijun Tang, Jia Shi, Bingyan Jiang, Xun Cao, Bo Lin, Qundong Fu, Chao Zhu, Wei Guo, Yizhong Huang, Yuan Yao, Stuart S. P. Parkin, Jianhui Zhou, Yanfeng Gao, Yeliang Wang, Yanglong Hou, Yugui Yao, Kazu Suenaga, Xiaosong Wu & Zheng Liu

07.层状半导体中的混合维度激子态的实验发现成果论文：Unconventional excitonic states with phonon sidebands in layered silicon diphosphide. Nature Materials, 2022, 21: 773-778 论文作者：Ling Zhou, Junwei Huang, Lukas Windgaetter, Chin Shen Ong, Xiaoxu Zhao, Caorong Zhang, Ming Tang, Zeya Li, Caiyu Qiu, Simone Latini, Yangfan Lu, Di Wu, Huiyang Gou, Andrew T. S. Wee, Hideo Hosono, Steven G. Louie, Peizhe Tang, Angel Rubio & Hongtao Yuan

08.转角双层二维材料精准原子制造成果论文：Designed growth of large bilayer graphene with arbitrary twist angles. Nature Materials, 2022, 21: 1263–1268 论文作者：Can Liu, Zehui Li, Ruixi Qiao. Qinghe Wang, Zhibin Zhang, Fang Liu, Ziqi Zhou, Nianze Shang, Hongwei Fang, Meixiao Wang, Zhongkai Liu, Zuo Feng, Yang Cheng, Heng Wu, Dewei Gong, Song Liu, Zhensheng Zhang, Dingxin Zou, Ying Fu, Jun He, Hao Hong, Muhong Wu, Peng Gao, Ping-Heng Tan, Xinqiang Wang, Dapeng Yu, Enge Wang, Zhu-Jun Wang & Kaihui Liu

09.面向智能机器人、具有时空弹性的类脑计算芯片：天机X成果论文：Neuromorphic computing chip with spatiotemporal elasticity for multi-intelligent-tasking robots. Science Robotics, 2022, 7: eabk2948 论文作者：Songchen Ma, Jing Pei, Weihao Zhang, Guanrui Wang, Dahu Feng, Fangwen Yu, Chenhang Song, Huanyu Qu, Cheng Ma, Mingsheng Lu, Faqiang Liu, Wenhao Zhou, Yujie Wu, Yihan Lin, Hongyi Li, Taoyi Wang, Jiuru Song, Xue Liu, Guoqi Li, Rong Zhao, Luping Shi

10.支持多粒度稀疏的AI训练芯片成果论文：Trainer: An Energy-Efficient Edge-Device Training Processor Supporting Dynamic Weight Pruning, IEEE Journal of Solid-State Circuits, 2022, 57(10): 3164-3178 论文作者：Yang Wang, Yubin Qin, Dazheng Deng, Jingchuan Wei, Tianbao Chen, Xinhan Lin, Leibo Liu, Shaojun Wei, and Shouyi Yin

审核编辑黄宇