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      一文详解离子束工艺技术

      半导体之芯 • 来源：半导体之芯 • 作者：半导体之芯 • 2022-11-22 10:44 • 次阅读
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      二次离子质谱（SIMS）是一种分析方法。具有高空间分辨率和高灵敏度的工具。它使用高度聚焦的离子束（通常是氧气或（无机样品用铯离子）“溅射”样品表面上选定区域的材料。

      喷射出的“二次离子”通过质量。分光计，它将离子按照它们的质量/电荷比，实际上提供了化学物质分析一个很小的取样量。

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      编辑：黄飞


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      原文标题：聚焦离子束工艺技术详解(178页PPT）

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        进行元素组成分析。1.引言 随着纳米科技的发展，纳米尺度制造业发展迅速，而纳米加工就是纳米制造业的核心部分，纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束（FIB）技术利用高强度聚焦
        发表于 02-05 15:13

        离子束加工原理

        离子束加工原理和离子束加工的应用范围，离子束加工的特点。
        发表于 05-22 12:48 •1.9w次阅读
        <b class='flag-5'>离子束</b>加工原理

        离子束注入技术应用

        离子束注入技术概述 基本原理：离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中，这一现象就叫做离子注入。
        发表于 05-22 13:00 •0次下载

        一文看懂电子束与离子束加工工艺

        电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加
        发表于 03-17 20:10 •15次下载
        <b class='flag-5'>一</b><b class='flag-5'>文</b>看懂电子<b class='flag-5'>束</b>与<b class='flag-5'>离子束</b>加工<b class='flag-5'>工艺</b>

        聚焦离子束技术介绍

        1、聚焦离子束技术（FIB） 聚焦离子束技术（Focused Ion beam，FIB）是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的
        的头像 发表于 01-16 17:10 •3091次阅读

        聚焦离子束一电子束(FIB-SEM)双束系统原理

        纳米科技是当前科学研究的前沿领域，纳米测量学和纳米加工技术在其中扮演着至关重要的角色。电子束和离子束等工艺是实现纳米尺度加工的关键手段。特别是聚焦离
        的头像 发表于 11-14 23:24 •1350次阅读
        聚焦<b class='flag-5'>离子束</b><b class='flag-5'>一</b>电子<b class='flag-5'>束</b>(FIB-SEM)双<b class='flag-5'>束</b>系统原理

        聚焦离子束系统的结构、工作原理及聚焦离子束双束系统

        尺度的测量与制造纳米技术，作为全球科研的热点，关键在于其能够在纳米级别进行精确的测量和制造。纳米测量技术负责收集和处理数据，而纳米加工技术则是实现微观制造目标的核心工具。电子束和
        的头像 发表于 12-17 15:08 •1694次阅读
        聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>系统的结构、工作原理及聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>双<b class='flag-5'>束</b>系统

        什么是聚焦离子束（FIB）？

        什么是聚焦离子束？聚焦离子束（FocusedIonBeam，简称FIB）技术作为一种前沿的纳米级加工与分析手段，近年来在众多领域崭露头角。它巧妙地融合了
        的头像 发表于 02-13 17:09 •1092次阅读
        什么是聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>（FIB）？

        聚焦离子束（FIB）技术原理和应用

        FIB技术原理聚焦离子束（FocusedIonBeam，简称FIB）技术作为一种前沿的纳米级加工与分析手段。它巧妙地融合了离子束
        的头像 发表于 02-26 15:24 •1683次阅读
        聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>（FIB）<b class='flag-5'>技术</b>原理和应用

        聚焦离子束技术：纳米加工与分析的利器

        聚焦离子束技术（FocusedIonBeam,FIB）作为一种前沿的纳米加工与分析手段，凭借其独特的优势在多个领域展现出强大的应用潜力。本文将从技术原理、应用领域、测试项目以及制样流程
        的头像 发表于 04-28 20:14 •495次阅读
        聚焦<b class='flag-5'>离子束</b><b class='flag-5'>技术</b>：纳米加工与分析的利器

        一文了解聚焦离子束（FIB）技术及联用技术

        聚焦离子束（FIB）技术凭借其独特的原理和强大的功能，成为微纳加工与分析领域不可或缺的重要工具。FIB如何工作聚焦离子束（FIB）技术是一种
        的头像 发表于 05-29 16:15 •807次阅读
        <b class='flag-5'>一</b><b class='flag-5'>文</b>了解聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>（FIB）<b class='flag-5'>技术</b>及联用<b class='flag-5'>技术</b>

        聚焦离子束技术的崛起与应用拓展

        聚焦离子束（FIB）技术是一种先进的纳米加工和分析工具。其基本原理是在电场和磁场作用下，将离子束聚焦到亚微米甚至纳米量级，通过偏转和加速系统控制离子
        的头像 发表于 06-24 14:31 •493次阅读
        聚焦<b class='flag-5'>离子束</b><b class='flag-5'>技术</b>的崛起与应用拓展

        聚焦离子束（FIB）技术分析

        聚焦离子束技术（FIB）聚焦离子束技术（FocusedIonbeam，FIB）是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的
        的头像 发表于 08-28 10:38 •704次阅读
        聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>（FIB）<b class='flag-5'>技术</b>分析
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