Baw谐振器制备工艺

Baw 谐振器常见的结构有体硅背刻蚀型、空气腔型、固态装配型、以及剪切模式等。视频中仅仅是空气腔型。

FBAR的多层膜性能的好坏关系到 FBAR 的机械稳定性、频率稳定性、机电转换的效率及寄生损耗。

根据 Yole Développemen 机构研究报告，在 2015 年平均每部手机要 50 颗滤波器，到 2020 年平均每部手机需要支持 30-40 个频段，则每部手需要 100颗以上滤波器，因此未来手机射频前端器件的增长主要来自于滤波器、双工器和多工器。

5G 时代需要支持的频段数量将会是现在的一倍多，同时会新增多个通信频段，未来全球 2G/3G/4G/5G 通信组网合计需要支持的频段数量将达到 91 个以上，这将带动射频滤波器产业大爆发。

理论上单个频段的射频信号处理需要 2颗滤波器，多个滤波器会集成到滤波器组中，手机配备的滤波器与频段数量之间的关系并非简单线性比例。

但随着通信频段增多，滤波器的设计难度及需求数量将会大幅的增加，相应的价值量和市场总量，都会远超过现有的市场规模。

审核编辑：刘清