基于PMUT的典型传感器及模组

超声换能器（Ultrasonic Transducer，UT）是指在超声波频率范围内实现声能与电能相互转换的器件。21世纪以来，MEMS为超声技术发展注入新的动力，促进超声换能器的微型化和集成化，并可以有效降低大批量生产的成本。近些年，基于MEMS技术的电容式微机械超声换能器（CMUT）和压电式微机械超声换能器（PMUT）产品接连面世并成功应用于智能手机、汽车、无人机、机器人、智能家居、医疗器械等。新兴的市场机遇正在孕育之中，无论是“元宇宙（Metaverse）”的人机交互，还是“即时诊断（POCT）”的超声成像，都在吸引着众多创业者和投资人。

压电器件类型（块体型、厚膜型、薄膜型），压电与MEMS融合孕育薄膜型压电器件（例如PMUT）

据麦姆斯咨询介绍，随着压电材料和MEMS技术的融合发展加速，以氮化铝（AlN）和锆钛酸铅（PZT）为代表的薄膜型压电材料的制备工艺越来越成熟。超声换能器厂商可以充分利用MEMS代工厂，开发与CMOS兼容的量产工艺（实现PMUT-on-COMS），从而改变传统压电器件“体积大、功耗高、价格贵、量产能力低”的形象。因此，PMUT技术与应用潜力进一步被发掘和释放——高通（Qualcomm）的指纹识别、TDK Chirp的飞行时间（ToF）测距、 Exo Imaging的医疗成像、imec的动脉硬化和血压监测。

基于PMUT的典型传感器及模组

为了深入学习PMUT研发历史及技术现状，麦姆斯咨询对PMUT期刊文献进行检索和分析，并由此透视全球PMUT领域的技术布局及国家与地区研发实力，挖掘PMUT领域的优势科研机构及专家学者，从而为PMUT相关从业人员的技术调研、产品创新、产学研合作提供有意义的参考资料。本报告具有150页PPT，提供一份Excel期刊文献数据库，其中包含涉及PMUT的228篇英文期刊文献和12篇中文期刊文献数据库。这份期刊文献数据库支持多字段检索，包括作者、所属机构、出版年份、文献篇名、关键词、摘要、被引次数、期刊名称、卷期号、页码。

报告样张展示

科学研究趋势及方向

根据麦姆斯咨询统计与分析，PMUT英文期刊文献年度发文量可分为三个发展阶段：1997-2004年：处于萌芽期，年发文数量在5篇以下。2005-2019年：处于振荡发展期，年度发文量高点达到17篇。2020年起：有望进入快速发展期。在228篇英文期刊文献中，设计、制造、封装/组装、系统集成、综述的发文量（篇）依次为193、141、7、29、11（注：一篇期刊文献可能涉及多个产业链环节）。可见，PMUT科学研究领域主要集中在设计和制造环节。

PMUT英文期刊文献的年度发文量趋势（来源：麦姆斯咨询）

按照压电材料分类分析，AlN系列、PZT系列、ZnO系列、PVDF系列、其他压电材料、综述的发文量（篇）依次为83、108、9、8、11、11（注：一篇期刊文献可能涉及多种压电材料）。可见，在PMUT中使用较多的压电材料是AlN系列和PZT系列，并且这两种系列材料有着较为成熟的制造工艺。在此基础上，麦姆斯咨询分析获得近五年PMUT领域的全球主要机构研究方向，这有助于PMUT公司寻找合适的科研机构进行产学研合作及成果转化，保持其产品及技术的领先性。

近五年PMUT领域的全球主要机构研究方向（按照压电材料分类）（来源：麦姆斯咨询）

近五年PMUT领域的全球主要机构研究方向（按照传感应用分类）（来源：麦姆斯咨询）

国家与地区研发实力

根据麦姆斯咨询检索与分析，PMUT英文期刊文献的发文量主要集中在在亚洲（中、新、日、韩）、北美（美、加）和欧洲（百花齐放）。在PMUT期刊文献质量方面：（1）美国的篇均被引次数为33.43（排名第一），英国、法国、阿联酋、新加坡在20以上；（2）美国的PMUT领域H指数为28，处于明显领先地位，表明美国的高被引文献数量领先全球。中国和新加坡同为13，并列第二位。

主要国家与地区的PMUT英文期刊文献发文量（来源：麦姆斯咨询）

麦姆斯咨询从“发文量、文献质量、作者影响力、科研机构实力、国家支持力度”五项指标对主要国家与地区的学术实力进行分析。以中美两国对比分析为例，我们发现虽然中国对PMUT领域的支持力度（中国国家自然科学基金会资助的发文量占中国发文量的58.11%）比美国大，但是美国的学术实力明显高于中国。

PMUT领域中、美国学术实力对比（来源：麦姆斯咨询）

领先的科研机构

在PMUT领域发文量排名前十的机构包括：加州大学伯克利分校（美国）、加州大学戴维斯分校（美国）、浙江大学（中国）、清华大学（中国）、宾夕法尼亚州立大学（美国）、新加坡国立大学（新加坡）、魁北克大学蒙特利尔分校（加拿大）、南洋理工大学（新加坡）、南加州大学（美国）、武汉大学（中国）。其中，美国拥有4家机构，中国拥有3家机构。

PMUT英文期刊文献的主要作者所属科研机构的发文量（来源：麦姆斯咨询）

根据麦姆斯咨询对期刊文献质量的研究发现，加州大学戴维斯分校和加州大学伯克利分校在被引次数、篇均被引次数、PMUT领域H指数方面领先，具有很强的科研实力。

著名的专家学者

麦姆斯咨询对PMUT领域发文量排名前十的作者进行研究，David A. Horsley、Yipeng Lu、Bernhard E. Boser三位学者的被引次数、篇均被引次数、PMUT领域H指数处于领先地位。从篇均被引次数角度，Bernhard E. Boser、Yipeng Lu、David A. Horsley均大于55，领先于其他作者。从PMUT领域H指数角度，David A. Horsley、Yipeng Lu、Bernhard E. Boser均≥8，同样领先于其他作者。

PMUT英文期刊文献发文量排名前十的作者的文献被引情况（来源：麦姆斯咨询）

报告目录：

1. PMUT概念及研究领域

内容包括PMUT概念，超声传感技术发展，超声换能器技术类型，CMUT和PMUT产业链，PMUT研究领域。

2. PMUT期刊文献检索与分析方法

内容包括检索与分析流程，文献检索概念，检索范围，检索与分析工具。

3. PMUT全球期刊文献检索与分析

内容包括数据来源与检索策略，年度发文量趋势分析，产业链技术分类分析，压电材料分类分析，国家与地区分析（发文量、被引情况、合作情况），基金资助机构分析，期刊类型分析（载文量及占比、被引情况、影响因子），作者/所属机构分析（发文量、被引情况、合作情况），关键词共现分析，国家与地区学术实力对比分析。

4. PMUT中国期刊文献检索与统计

内容包括数据来源与检索策略，PMUT中国期刊文献索引，每篇期刊文献介绍（篇名、作者、所属机构、摘要、关键词、发表期刊、发表日期）。

5. PMUT高被引期刊文献

内容包括PMUT高被引期刊文献索引，每篇期刊文献介绍（篇名、作者、所属机构、摘要、被引次数、发表期刊、DOI）。

6. PMUT领域全球领先科研机构

内容包括PMUT领域全球领先科研机构分布图及索引，每家科研机构介绍（机构名称、PMUT相关院系/实验室、机构简介、机构官网）。

7. PMUT领域全球专家学者

内容包括PMUT领域全球著名专家学者索引，每位专家学者介绍（姓名、所属机构、职位、科研领域、所获奖项、电子邮箱）。

8. PMUT学术会议介绍

内容包括PMUT相关的学术会议介绍（会议名称、合作主办方、会议信息、会议网址、相关文献）。

审核编辑 ：李倩