微导纳米募资10亿元扩产升级半导体配套设备

电子发烧友网报道（文/刘静）8月1日，一家专注半导体薄膜沉积设备研发的企业，江苏微导纳米科技股份有限公司成功通过上交所上市委的审核，被评定为符合发行条件、上市条件和信息披露要求。

2015年成立后，微导纳米先后完成了7轮融资，投资方有高瓴资本、中芯聚源、毅达资本、君联资本等知名投资机构，国际电池巨头宁德时代也有参与，虽然交易金额尚未披露，但是在同行内融资数量还是相对较多的，多家资本都是中国前百强投资机构。

如果这次IPO成功，微导纳米将在科创板资本市场融资10亿元资金，再次加大研发投入，用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子、半导体配套设备的扩产升级等。

目前微导纳米的最大股东是万海盈投资，直接持股56.86%。而现任董事长王磊先生，与王燕清、倪亚兰组成的家族通过万海盈投资、聚海盈管理、德厚盈投资间接控制微导纳米67.34%的股份，成为微导纳米的实际控制人。

2021年增收不增利，超4成营收来自光伏ALD设备，设备改造业务表现强劲

微导纳米聚焦薄膜沉积设备领域的研发，薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具备一定的特殊性能，广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。

2015年成立最初，微导纳米以光伏电池领域的薄膜沉积设备研发为主，而后进一步深化原子层沉积（ALD）技术，开发对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备。据悉，微导纳米的半导体ALD设备已突破了28nm集成电路制造工艺制程，光伏ALD量产设备镀膜速率已突破10000片/小时。

在这7年的时间里，微导纳米所处的光伏、半导体行业快速发展。我国连续九年新增光伏发电装机量位居世界第一，半导体设备一直保持两位数增长。根据Maximize Market Research统计的数据显示，全球半导体薄膜沉积设备市场规模从2017年的125亿美元扩大至2021年的190亿美元，年复合增长率为11.04%。预计2022年市场规模将突破220亿美元。

随着光伏、半导体市场需求的快速增长，微导纳米近三年的业绩规模也在持续不断地增长，但暂时没有出现翻倍高增长的趋势，且营收涨幅有所缩小。2021年营收规模由2020年的3.13亿元扩大至4.28亿元，同比增速由44.82%降至36.91%。

2019年-2021年微导纳米的营业收入、净利润、主营毛利率具体的数据如下所示：

净利润方面，2020年以4.32%的速度由2019年的0.55亿元增长至0.57亿元，2021年下滑至0.46亿元，首度出现增收不增利的情况。同时主营业务毛利率出现逐年下滑的趋势，2019年毛利率为53.97%，2021年降至45.83%。据了解，这可能跟微导纳米光伏领域新推出的PECVD设备和PEALD二合一平台设备有关，2021年这两大设备的毛利率分别为18.79%、19.59%，而光伏的ALD设备毛利率达46.83%，半导体的ALD设备更是高达52.20%，由此可见微导纳米毛利率逐年下降极有可能是受低毛利率产品拖累。

微导纳米的营收主要来源于专用设备业务，报告期内该业务收入占总营收的比例分别为93.59%、95.74%、70.29%，2019年、2020年营收贡献率均在9成以上，2021年降至7成。

专用设备业务包括光伏领域的 ALD设备、PECVD设备、PEALD二合一平台设备，以及半导体领域的ALD设备，2021年销量分别为22台、19台、17台、1台，销售均价分别为618.95万元/台、374.90万元/台、399.27万元/台、2520万元/台，半导体领域的ALD设备为目前微导纳米卖得最贵的产品。2021年专业设备业务收入达30047.48万元，而光伏ALD设备销售收入占比45.32%，销售均价最高的半导体ALD设备则占8.39%。

图：微导纳米的半导体薄膜沉积设备

招股书显示，PECVD设备、PEALD二合一平台设备以及半导体的ALD设备均是2021年才开始创造营收的产品，微导纳米2019年、2020年营收增长完全是依靠光伏的ALD设备产品。

2021年微导纳米的配套产品及服务业务收入强劲增长，涨幅高达854.06%。据悉，微导纳米的配套产品及服务业务主要包括设备的尺寸改造、工艺改造、备品备件。该项业务2021年收入高涨，说明当期微导纳米所接下的设备改造订单增长明显，同时也侧面反映了光伏和半导体行业厂商偏向对原有设备进行改造以适用新工艺制程生产的现象。

客户方面，微导纳米已与通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能、中辉科技、华恒新能源、龙恒新能源、阳光中科等知名厂商建立长期稳定的合作。

半导体ADL设备研发投入翻倍增长，产能等多项技术指标达到国际大厂水平

目前全球前十大半导体设备制造商主要集中在美国、日本和荷兰，占据全球76.63%的市场份额，全球半导体薄膜沉积设备基本被AMAT、ASM、Lam、TEL等国际巨头垄断。而我国半导体设备厂商因发展较晚，2020年半导体薄膜沉积设备国产化率仅达8%，主要厂商是北方华创、中微公司、拓荆科技。

另外在光伏薄膜沉积设备领域，微导纳米面临的主要竞争对手是捷佳伟创、北方华创、无锡松煜、理想晶延、红太阳以及海外的Centrotherm。

2020年，微导纳米在营收规模与国内同行企业的对比情况如下：

微导纳米的营收规模与上市企业北方华创、捷佳伟创的差距较大，与未上市的红太阳接近，超过未上市的无锡松煜、理想晶延。

在盈利能力方面，近三年微导纳米的毛利率均高于同行企业平均水平，2021年虽然毛利率略有下降，但仍然超过捷佳伟创、北方华创、中微公司等同行企业。

在研发投入方面，近三年微导纳米保持研发高投入，每年度的研发费用始终在销售费用、管理费用和财务费用之上。具体2019年-2021年的研发费用分别为0.31亿元、0.54亿元、0.97亿元，2021年研发投入将近2020年的一半。同期研发费用分别占总营收的比例为14.41%、17.91%、22.68%，研发费用占比呈现逐年提升的趋势。

2020年微导纳米开始进军半导体领域，研发半导体用的ALD设备，三年累计研发投入6821.45万元。2021年微导纳米显著加大对半导体领域的研发，半导体研发投入的金额相比2020年增长了112.50%。

招股书显示，2021年微导纳米新启动的半导体研发项目主要有新一代化合物半导体Mini LED显示技术关键工艺技术研发及产业化、先进化合物半导体及微机电关键工艺技术研发及产业化、尖端存储器件原子层沉积设备及工艺开发、基于300mm晶圆半导体制造高产能自动化真空传输技术的研究与产业化等。

在技术实力上，微导纳米光伏应用的Al2O3镀膜设备生产效率行业领先，每小时产能最高10000片，而 Centrotherm、捷佳伟创、理想晶延产能分别为6000片/小时、6450片/小时、7200片/小时。

图：微导纳米光伏的Al2O3镀膜设备技术对比

微导纳米的半导体ALD设备在设备产能、平均故障间隔时间、平均破片率、平均修复时间等技术指标上达到国际大厂同类设备的水平。

图：微导纳米半导体ALD设备技术对比

在成立的7年时间里，微导纳米不断强化自身的技术壁垒，先后自主研发了原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术、纳米叠层薄膜沉积技术、高质量薄膜制造技术、工艺设备能量控制技术、基于原子层沉积的高效电池技术等核心技术。

截至2021年底，微导纳米已取得94项国家授权专利，其中发明专利13项、实用新型专利72项、外观设计专利9项，并拥有软件著作权19项。

募资10亿元，扩产升级半导体配套设备等

先前已完成7轮融资的微导纳米，此次冲刺科创板上市，还将募集10亿元，保障未来几年研发项目的资金投入。

据悉，微导纳米上市后的融资，主要投向“基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目”、“基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目”和“集成电路高端装备产业化应用中心项目”。

从募集资金的分配来看，半导体配套设备的扩产升级项目投资规模最高，从此处也能看到未来相比光伏、柔性电子领域，微导纳米更着重半导体行业的发展，大幅扩充半导体的ALD设备产能。募投项目实施后，微导纳米将新增年产40套ALD设备。据悉，目前微导纳米一台半导体ALD设备售价高达2520万元，40台价值高达10.08亿元，为2021年全年营收的2.36倍。

而投入2.5亿元募集资金的光伏及柔性电子设备扩产升级项目，将新增年产120台ALD设备。

投资1.18亿元的“集成电路高端装备产业化应用中心项目”则主要是针对更先进技术节点和工艺性能，搭建先进集成电路制造装备的研发平台、高端研发人才培养平台，进行高端应用领域的ALD设备研发。

微导纳米通过募投项目扩大应用于半导体、光伏领域的ALD设备生产规模，提升薄膜沉积设备市场占有率，这将促进国内薄膜沉积设备与技术的发展，助力半导体、光伏行业高端装备的国产化替代。

从募投项目来看，未来微导纳米除了继续在光伏、半导体领域持续开拓外，还将向柔性电子等领域进军，横向延伸至平板、曲面及柔性显示器产业，进入新的领域丰富自身的产品线。

审核编辑：彭静