MEMS传感器那点事儿以及我们明石微纳传感研究院

一、MEMS简介：

MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。

二、MEMS的分类。

MEMS 传感器种类很多，也有多种分类方法。按其工作原理，大致可分为MEMS物理、化学和生物传感器，其中每一种MEMS传感器又可分为很多种小类，不同的MEMS 传感器可以测量不同的量，实现不同的功能。

MEMS传感器分类

三、MEMS传感器发展历程

MEMS 起源可追溯至 20 世纪 50 年代，硅的压阻效应被发现后，学者们开始了对硅传感器的研究。然而，MEMS 产业真正发展始于 20 世纪 80 年代，前后经历了 3 次产业化浪潮。
20 世纪 80 年代至 90 年代：1983 年 Honeywell 利用大型刻蚀硅片结构和背蚀刻膜片制作了集成压力传感器，将机械结构与电路集成在一个芯片内。80 年代末至 90 年代，汽车行业的快速发展，汽车电子应用如安全气囊、制动压力、轮胎压力监测系统等需求增长，巨大利润空间驱使欧洲、日本和美国的企业大量生产 MEMS，推动了 MEMS 行业发展的第一次浪潮。
20 世纪 90 年代末至 21 世纪初：本阶段早期，喷墨打印头和微光学器件的巨大需求促进了 MEMS 行业的发展。而 2007 年后，消费电子产品对 MEMS 的强劲需求，手机、小家电、电子游戏、远程控制、移动互联网设备等消费电子产品要求体积更小且功耗更低的 MEMS 相关器件，对 MEMS 产品需求更大，掀起了 MEMS 行业发展的第二次产业化浪潮，并将持续推动 MEMS 行业向前发展。
2010 年至今：产品应用的扩展，使 MEMS 行业呈现新的趋势。MEMS 产品逐步应用于物联网、可穿戴设备等新领域，应用场景日益丰富，正渐渐覆盖人类生活的各个维度。此外，MEMS 是当前移动终端创新的方向，新的设备形态（如可穿戴设备）需要更加微型化的器件和更为便捷的交互方式。然而，物联网、可穿戴设备应用助推 MEMS 第三次产业化浪潮的同时，行业仍然面临来自产品规格、功率消耗、产品整合以及成本等方面的压力，MEMS 产品及相关技术亟待持续改进，以满足更小、更低能耗、更高性能的需求。

四、明石微纳传感技术研究院

1、简介

全称：明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司
• 烟台开发区支持建设的产学研融合高端科创平台

• 明石创新技术集团投资打造的微纳传感领域企业

• 山东省创新创业共同体、山东省制造业创新中心建设单位

2、车间产能

明石微纳传感器封装测试产能

 已建成万级净化车间3000㎡；

 列装目前最先进MEMS传感器封装测试关键工艺设备；

 年产DIP压力传感器1000万支；

 年产SOP压力传感器800万支；

 提供LGA、TO、DFN、QFN、简易模组等封装形式。

明石微纳可以提供但不局限于

 完善可信赖的保密协议；

 完全定制化的MEMS封测工艺服务；

 在研产品的封测量产、良品率验证；

 真实的封测生产环境、生产流程、生产过程及品质管理；

 全自动生产型封装测试工艺设备及多年经验的产线工艺工程师；

 提供产业化改进建议及真实有效的量产成本核算；

 优秀的市场及销售团队，将您的成果直接面向市场推广.

传感器各封装测试工艺流程

简单地介绍先到这里，有压力传感器需求或者需要代工等合作的公司欢迎洽谈，最后祝愿我们国家的传感技术以及芯片领域技术越来越强！

审核编辑 黄昊宇